Occasion PLASMATHERM SLR 720 #9123968 à vendre en France

Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
SLR 720
ID: 9123968
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE), 4" Plasma shuttle-lock load-lock loading system Platen transfer 700 Al Chamber PC Window based system, 11" ADVANCED ENERGY RFPP RF Generator 500 W Matching network (2) Mechanical pumps NESLAB HX 75 Chiller LEYBOLD 361C Turon LEYBOLD NT 150/360 Controler Gas distribution center (4) Mass flow controllers: BCl3-100, Cl2-50, O2-100, N2-50 Manuals included Power supply: 208 V, 3-Phase 1999 vintage.
PLASMATHERM SLR 720 est un graveur/asher à plasma conçu pour la gravure de précision et l'ashing de matériaux avancés. SLR 720 est capable de gravure et de cendrage avec une grande vitesse, précision et uniformité, ce qui en fait un choix idéal pour une grande variété d'applications de gravure et de cendrage dans l'industrie des semi-conducteurs. PLASMATHERM SLR 720 est un appareil à haut débit dont la vitesse de gravure standard peut atteindre 800 nm/min. Il dispose également d'une source de plasma efficace qui utilise des moteurs à double chambre et un générateur RF à quatre canaux. Cela permet un processus de gravure haute performance avec une faible énergie ionique et une excellente uniformité entre les plaquettes. En outre, SLR 720 dispose d'un système de contrôle avancé qui permet aux utilisateurs d'entrer et de contrôler des paramètres définis par l'utilisateur. Ces paramètres comprennent les paramètres de gravure et d'ashing, les réglages du générateur RF et la pression de la chambre. PLASMATHERM SLR 720 comprend une interface graphique facile à utiliser, intuitive et conviviale qui permet un contrôle complet du processus de gravure et d'ashing. Il comprend également un outil de visualisation 3D, permettant à l'utilisateur de visualiser le processus de gravure et de cendre en temps réel, offrant une stabilité et une uniformité accrues sur les plaquettes. SLR 720 utilise un procédé sec à basse pression (DLPO) pour la gravure et le cendrier. Ce procédé utilise un débit de gaz élevé pour entraîner les ions et les gaz réactifs, ce qui permet des débits de gravure et de cueillette plus élevés et des temps de traitement plus rapides. PLASMATHERM SLR 720 dispose également d'une variété de caractéristiques de sécurité avancées telles que la surveillance de la sécurité du gaz et de la pression, l'arrêt automatique du gaz et une unité de commande du collecteur. Cela le rend adapté à une variété d'applications critiques pour la sécurité. Dans l'ensemble, SLR 720 est un choix idéal pour une grande variété d'applications de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec son fonctionnement performant, rapide et précis, il est un choix fiable pour les industries qui recherchent des résultats cohérents et des performances fiables pour leurs applications de gravure et d'ashing.
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