Occasion PLASMATHERM SLR 720 #9153536 à vendre en France
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ID: 9153536
Taille de la plaquette: 2"-8"
Style Vintage: 1997
Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-8"
Aluminum chamber with load lock
Bottom electrode, 11"
LEYBOLD 361C Turbo with 150/360 controller
ADVANCED ENERGY RFPP 5S RF Power supply
With AM5 matching network
Gas configuration:
(4) MFCs-SF6, CF4, N2, O2 With (2) N2 purges
LEYBOLD D16 Roughing pump
LEYBOLD D65 Backing pump
NESLAB HX75 Chiller
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 720 est un graveur et asher conçu pour effectuer des processus de gravure et ashing avancés efficacement. Il peut graver les surfaces planes et microgroves avec précision et rapidité, ce qui permet une large gamme d'applications dans la fabrication de composants et d'appareils microfabriqués. L'équipement comprend une chambre RWE (Rapid Wafer Etching) ultra compacte, conçue pour un traitement efficace des plaquettes à grande échelle. Son graveur à haute pression et à pression atmosphérique breveté est une solution puissante pour la gravure précise des matériaux de substrat. SLR 720 dispose de plusieurs électrodes pour un contrôle de gravure optimal. Il fonctionne en utilisant une excitation radio-fréquence (RF) modulée en impulsions avec alimentation modulée en impulsions, pour fournir des niveaux de puissance uniformes et variables. Ceci, combiné à son système de commande électrostatique avancé, assure un contrôle précis de la gravure du matériau du substrat et permet des résultats reproductibles. Son logiciel de programmation automatique permet une programmation rapide et facile des recettes de processus de gravure et d'ashing. PLASMATHERM SLR 720 est également livré avec une unité avancée de surveillance des processus, qui permet aux opérateurs de surveiller les résultats en temps réel. Ses capteurs de diagnostic fournissent des informations détaillées sur le processus de gravure et d'ashing, permettant un contrôle proactif et la prévention des variations de processus. De plus, sa machine d'échappement automatisée assure un contrôle efficace des gaz et des contaminants lors de la gravure et de la cueillette. SLR 720 est conçu pour la gravure de haute précision des plaquettes métalliques et de silicium. Il peut également être utilisé pour graver des matériaux à couches minces tels que des plastiques renforcés de fibres de carbone et des substrats céramiques. Idéal pour les processus de microfabrication, l'outil est conçu pour être fiable, facile à utiliser et rentable. En conclusion, PLASMATHERM SLR 720 est un graveur et asher fiable conçu pour fournir des résultats précis et reproductibles dans des processus de gravure et d'ashing avancés. Ses systèmes automatisés, ses diagnostics complets et ses systèmes d'échappement efficaces offrent aux opérateurs un moyen simple et économique d'obtenir des résultats précis et reproductibles.
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