Occasion PLASMATHERM SLR 720 #9153540 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 720 est un graveur/asher avancé conçu pour être utilisé dans des applications microélectroniques sensibles à la précision. La technologie, développée par PLASMATHERM, combine des traitements physiques, chimiques et mécaniques pour assurer la qualité de surface, la planéité et la propreté durable. SLR 720 est un équipement à chambre unique qui dispose de deux sources de plasma indépendantes. La première source utilise un magnétron rotatif souple pour l'enlèvement du matériau. La deuxième source utilise un générateur à fréquence variable (VFG) pour le fonctionnement multifréquence basse pression. Une alimentation RF réglable avec précision, couplée au VFG, permet un contrôle précis de l'environnement plasma, permettant des recettes de gravure définies par l'utilisateur. Le processus de gravure est activé par une source de courant continu (DC), qui est couplée à une alimentation polarisée par un signal basse fréquence, permettant une application rapide du traitement de surface souhaité. Les deux sources de plasma indépendantes aident à maintenir un bombardement ionique uniforme sur la surface de l'échantillon et à créer une fenêtre de processus cohérente. PLASMATHERM SLR 720 contient également un système de nettoyage in situ entièrement automatisé. Cette unité prétraite la chambre et la chambre de procédé, ainsi que tous les composants commandables, avant chaque cycle de gravure. La machine in situ permet non seulement de garder la chambre propre et exempte de contamination, mais aussi de garantir que les sources de plasma fonctionnent dans leur plage optimale. Le SLR 720 peut être intégré à des systèmes automatisés de verrouillage de charge et dispose d'un logiciel qui permet aux utilisateurs de programmer des recettes pour répondre à leurs besoins spécifiques. En outre, l'outil est également équipé d'un panneau tactile pour une surveillance et un contrôle faciles de tous les paramètres du processus. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR 720 est un graveur/asher avancé conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de la microélectronique de précision. Son actif de nettoyage in situ, sa technologie à double source et ses alimentations électriques accordables de précision garantissent des processus de gravure de haute qualité et reproductibles avec des finitions de surface supérieures.