Occasion PLASMATHERM SLR 720 #9156982 à vendre en France
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ID: 9156982
Taille de la plaquette: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8"
Manual load lock
Advanced energy RFPP 5S RF Power supply
Match work and tuner
Leybold 361C turbo with NT20 controller
4 MFCs
11" Lower electrode
13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720 est une technologie de gravure/asher sophistiquée de PLASMATHERM. Il offre une gamme de fonctionnalités et de capacités essentielles pour la gravure réussie des CD, des IC, des substrats et de nombreux autres matériaux. Il s'agit d'un équipement de gravure et de cueillette entièrement contenu, doté d'un poste de travail PC intégré, d'un arsenal intégré 16 gaz couplé à un système de pompage de haute précision et d'un bras robotique ergonomique. Le poste de travail PC intégré offre une interface intuitive et conviviale supportant à la fois le fonctionnement à distance et la surveillance de l'unité en ligne. L'arsenal intégré à 16 gaz comprend 7 gaz différents, allant de l'oxygène au silane, pour assurer une gravure et une cueillette optimales d'un large éventail de matériaux. La machine de pompage haute précision contrôle précisément le débit de gaz, assurant la précision et la répétabilité des processus de gravure et de cueillette. Le bras robotique aide également à la gravure précise et efficace des substrats dans les zones difficiles d'accès. La configuration logicielle améliorée de SLR 720 permet une gravure polyvalente. L'outil peut être programmé pour graver plusieurs substrats dans des processus simples et multiples tels que l'optimisation des paramètres en temps réel, le contrôle de balayage en temps réel, le contrôle de profondeur et les corrections de profil, ou la combinaison de ces processus. De plus, PLASMATHERM SLR 720 permet la gravure intégrative de la métallisation de deuxième niveau, contribuant ainsi à réduire le temps de traitement requis. Le modèle de prix PLASMATHERM est adapté à l'échelle, ce qui le rend idéal pour les petites et grandes industries de gravure. L'actif offre également des caractéristiques mécaniques et de sécurité améliorées. Son modèle intégré de surveillance de la sécurité aide à protéger l'équipement, et les gens, contre le burn-out et le débordement. En outre, le système dispose de boutons d'arrêt d'urgence, permettant l'arrêt immédiat et la prévention des dommages potentiels. En bref, SLR 720 est une unité de gravure et de cendrage robuste et polyvalente avec un design ergonomique, une machine de pompage de haute précision, un poste de travail PC intuitif, un arsenal 16 gaz, des capacités de gravure expansive et des caractéristiques de sécurité intégrées. Il fournit une solution de gravure et de cendrage rentable et très efficace pour CD, IC et d'autres applications de substrat.
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