Occasion PLASMATHERM SLR 720 #9382253 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 720 est un graveur/asher à plasma multi-étages de haute précision conçu spécifiquement pour la fabrication de composants de filtration ultra-minces, de nanorobotiques, de dispositifs MEMS/NEMS et d'autres composants de microélectronique. La machine dispose de quatre chambres différentes (procédé, pré-nettoyage, serrure et gravure/cendres) qui sont reliées entre elles pour fournir un traitement précis des gravures/cendres de plasma avec du liquide, du gaz ou de l'azote propres. La chambre de procédé est la chambre principale à l'intérieur du graveur/asher et contient la source de plasma, l'alimentation RF et DC et les capteurs de sécurité des plaquettes. Il dispose également de capteurs plasma avancés et de systèmes de mesure de vitesse de gravure pour un contrôle exceptionnel. La chambre pré-propre est une chambre dédiée avec un gaz de procédé haute pression, température ambiante et faible humidité pour le nettoyage et le dégazage avant gravure ou cueillette. Il permet également une orientation précise de la plaquette. La chambre de verrouillage de charge améliore encore la propreté de la chambre de procédé pour fournir un procédé de gravure/cueillette de meilleure qualité en fournissant un environnement ultra-sous vide à la chambre de procédé. La chambre de gravure/cendres est la dernière étape de toute la machine et contient un certain nombre de gaz de procédé différents, adaptés en fonction du processus de gravure/cendrage spécifique. La source de gaz comprend généralement des gaz plasmatiques à base de fluor tels que CF4, CHF3 et CF3Br, ainsi que de l'oxygène et d'autres gaz inertes. Le rendement de production et la qualité finale sont optimisés par le contrôle précis de tous les paramètres du procédé tels que la pression, le débit, la température, le type de gaz et la température du substrat. Les autres caractéristiques et options de processus de SLR 720 comprennent : mesure automatique de l'épaisseur, contrôle informatique embarqué, contrôle manuel des processus, détection réglable et gravure diélectrique, interface écran tactile LCD, console centrale d'acquisition de données/archive, surveillance active des plaquettes, affichage en temps réel des taux de gravure, manipulation des plaquettes sans défaut, répétabilité automatique des processus et intégration complète dans les systèmes de production. Toutes ces caractéristiques combinées à son procédé avancé de gravure plasma/cendres, font de PLASMATHERM SLR 720 un outil idéal pour produire des composants de filtration ultra-minces, des nanorobotiques, des dispositifs MEMS/NEMS et d'autres composants de microélectronique avancés de la plus haute qualité.