Occasion PLASMATHERM SLR 730 #9124186 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 730 est un équipement de gravure Asher/Etch RF programmable de haute précision pour la gravure et l'enlèvement des couches métalliques. Ses capacités comprennent : la gravure de couches d'or, de cuivre et d'aluminium ; gravure du motif de résistance sur les couches d'or, de cuivre et d'aluminium ; Ashing of photoresist layers ; l'application de solvant avant l'ashing et l'auto-up aident à l'ajustement de la température. La spécialité du système est qu'il est conçu pour traiter les échantillons rapidement, en raison de son utilisation efficace de la puissance RF et de la disponibilité de courte durée d'impulsion. L'unité de base de PLASMATHERM SLR-730 est composée d'un générateur de plasma, d'un mandrin à masque biseauté et de jets et d'une chambre. Le générateur de plasma fournit de l'énergie RF et fournit la puissance nécessaire pour graver ou enlever les couches de résine photosensible pendant la gravure et le cendrage. Des verrous à masque de biseau sont également inclus pour le confinement sous vide fiable des échantillons. SLR 730 dispose également d'une interface conviviale qui permet de programmer les temps de gravure et de cendres ainsi que les niveaux de puissance et de solvant. SLR-730 a une vitesse de gravure de 1,5 à 4,5 μ m/min et de 0,75 à 10,0 μ m/min pour l'aluminium. Il a une plage de température de chambre de 25-250 ° C et une plage de puissance de 1-100 Watts. En outre, l'unité dispose d'un environnement atmosphérique sélectionnable avec un vide ou une pression allant jusqu'à 10 torr. Il offre des résultats reproductibles avec une excellente prévisibilité des gravures latérales en raison de sa variation constante de la durée des impulsions. La machine fournit également un contrôle automatique de la température qui aide à ajuster la consigne au besoin pour différentes recettes de gravure ou de cendres. PLASMATHERM SLR 730 dispose d'un certain nombre de caractéristiques de sécurité uniques qui garantissent la sécurité de l'utilisateur et de l'environnement. Il dispose d'un absorbeur de bruit qui minimise le bruit acoustique et d'un outil d'émission acoustique intégré qui surveille les niveaux acoustiques en temps réel. Il existe également un outil de surveillance à grains fins qui avertit l'utilisateur d'un danger possible pendant le cycle de gravure/cendres. Le modèle est également conçu pour s'arrêter en cas de panne mécanique ou de coupure de courant. Ces caractéristiques, combinées aux performances de l'équipement, en font un excellent choix pour les laboratoires, les installations de recherche et de production.