Occasion PLASMATHERM SLR 730 #9363419 à vendre en France
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ID: 9363419
Style Vintage: 1994
PECVD System
720 RIE (Reactive Ion Etcher)
700 Aluminum body chamber
Stand alone dual chamber 730/720 deposition and etch system
Substrate holders configured for 4"-8"
Load lock version with (2) process modules:
PECVD
RIE (Reactive Ion Etcher)
Main body:
Stainless steel skins
Windows based PC controls
ADVANCED ENERGY RFPP RF5S Power supply, 500 W-13.56 MHz
ADVANCED ENERGY AM5 Matching network with tuner
LEYBOLD D25 / Equivalent load lock pump
NESLAB HX 75 Chiller with RS232 interface to system
Electrical disconnect box: 208 V, 3 Phase, 60 Amp
Flat panel display with keyboard and mouse
Manuals
PECVD Module:
Heated chuck
WATLOW Controller
Chuck with center lift type, 11"
Optical windows for endpoint control and diagnostics
LEYBOLD D40 With 151 blower mechanical pump
MKS 290 Ion gauge controller and ion gauge
MKS TC Gauge controller
(1 or 2) Torr baratron
(4) Gas MFC's (Can add up to 4 more)
RIE Module:
Lower electrode
Shower head, 11"
Center lift type chuck, 11"
Optical windows for endpoint control and diagnostics
Soffie class III laser endpoint detector
MKS 153 Throttle valve
LEYBOLD 361C Turbo pump
LEYBOLD 150 / 360 NT Turbo controller
LEYBOLD D40BCS Mechanical roughing pump
500mT Baratron
Gas manifolds and gas line:
(4) Gas sticks / Lines
Nupro valves with bypass valves
Unions
Glands
VCR Fittings
MFCs and Gas manifolds
PLASMATHERM Dual chamber PECVD / RIE system:
(2) 4-Port manifolds
(2) Gas sticks for Nitrogen and Argon to include nupro valve
MFC and L leg to gas connection
(2) Gas sticks with bypass: (3) Nupro valves and MFC's
(2) 4 Channels valve control PCB
1/8" Tubing for the nupro valves, ~40 ft
Flow rates:
PECVD:
Nitrogen: 2000 SCCM
Argon: 500 SCCM
RIE:
BCL3: 50 SCCM
Cl2: 50 SCCM
1994 vintage.
PLASMATHERM SLR 730 est un graveur/asher professionnel conçu pour la finition précise, répétable et uniforme de substrats délicats. Il s'agit d'un équipement de gravure plasma avancé, utilisant une chambre à vide pour contrôler l'atmosphère pendant le traitement du plasma. Le système utilise une source de plasma à courant continu, avec des électrodes uniformes, pour créer des espèces réactives d'ions et de particules neutres excitées. Ceci produit une densité ionique incroyablement élevée, ce qui donne une structure fine jusqu'à 10nm de taille avec une variation de précision inférieure à 1 %. En plus de son extraordinaire consistance de gravure, PLASMATHERM SLR-730 assure un contrôle précis de la vitesse de gravure du matériau. Avec son interface utilisateur de programmation avancée (UI), les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de types de gaz et de mécanismes de distribution pour cadencer la vitesse de gravure sur le substrat. L'interface utilisateur permet de choisir parmi 6 paramètres plasmatiques différents, y compris la pression, le débit de gaz, la concentration de gaz et le temps d'impulsion total. Le SLR 730 dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels que des systèmes d'interception, des chambres à isolation thermique et une fonction de démarrage et d'arrêt à distance en option. Ceux-ci garantissent que les utilisateurs peuvent utiliser l'unité sans aucun risque pour eux-mêmes ou l'environnement. Sur le plan pratique, la machine est dotée d'un design ergonomique, avec un fonctionnement simple tactile de l'outil. Cela garantit que les utilisateurs peuvent ajuster rapidement et facilement tous les paramètres et faire des progrès dans la tâche à réaliser. Ceci est complété par la chambre à vide amovible à base de poudre de l'actif, qui permet d'économiser du temps et de l'effort lors du changement de substrats et des cycles de nettoyage. Les exigences d'entretien du SLR-730 sont minimes, avec seulement des cycles de nettoyage périodiques requis. Ceci est dû à la longue durée de vie des bobines magnétiques du modèle, qui sont plus efficaces et nécessitent peu d'entretien. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR 730 est un graveur/asher haute performance qui offre une grande combinaison de caractéristiques. Il fournit des résultats de gravure précis, reproductibles et uniformes avec des variations de précision jusqu'à 10nm. En outre, l'interface utilisateur de l'équipement permet une sélection rapide et intuitive des réglages, qui est complétée par les caractéristiques de sécurité du système et les exigences d'entretien efficaces. Toutes ces caractéristiques font de PLASMATHERM SLR-730 un excellent choix pour tout professionnel à la recherche d'un graveur/asher fiable et précis.
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