Occasion PLASMATHERM SLR 730 #9363419 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 730
Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
SLR 730
ID: 9363419
Style Vintage: 1994
PECVD System 720 RIE (Reactive Ion Etcher) 700 Aluminum body chamber Stand alone dual chamber 730/720 deposition and etch system Substrate holders configured for 4"-8" Load lock version with (2) process modules: PECVD RIE (Reactive Ion Etcher) Main body: Stainless steel skins Windows based PC controls ADVANCED ENERGY RFPP RF5S Power supply, 500 W-13.56 MHz ADVANCED ENERGY AM5 Matching network with tuner LEYBOLD D25 / Equivalent load lock pump NESLAB HX 75 Chiller with RS232 interface to system Electrical disconnect box: 208 V, 3 Phase, 60 Amp Flat panel display with keyboard and mouse Manuals PECVD Module: Heated chuck WATLOW Controller Chuck with center lift type, 11" Optical windows for endpoint control and diagnostics LEYBOLD D40 With 151 blower mechanical pump MKS 290 Ion gauge controller and ion gauge MKS TC Gauge controller (1 or 2) Torr baratron (4) Gas MFC's (Can add up to 4 more) RIE Module: Lower electrode Shower head, 11" Center lift type chuck, 11" Optical windows for endpoint control and diagnostics Soffie class III laser endpoint detector MKS 153 Throttle valve LEYBOLD 361C Turbo pump LEYBOLD 150 / 360 NT Turbo controller LEYBOLD D40BCS Mechanical roughing pump 500mT Baratron Gas manifolds and gas line: (4) Gas sticks / Lines Nupro valves with bypass valves Unions Glands VCR Fittings MFCs and Gas manifolds PLASMATHERM Dual chamber PECVD / RIE system: (2) 4-Port manifolds (2) Gas sticks for Nitrogen and Argon to include nupro valve MFC and L leg to gas connection (2) Gas sticks with bypass: (3) Nupro valves and MFC's (2) 4 Channels valve control PCB 1/8" Tubing for the nupro valves, ~40 ft Flow rates: PECVD: Nitrogen: 2000 SCCM Argon: 500 SCCM RIE: BCL3: 50 SCCM Cl2: 50 SCCM 1994 vintage.
PLASMATHERM SLR 730 est un graveur/asher professionnel conçu pour la finition précise, répétable et uniforme de substrats délicats. Il s'agit d'un équipement de gravure plasma avancé, utilisant une chambre à vide pour contrôler l'atmosphère pendant le traitement du plasma. Le système utilise une source de plasma à courant continu, avec des électrodes uniformes, pour créer des espèces réactives d'ions et de particules neutres excitées. Ceci produit une densité ionique incroyablement élevée, ce qui donne une structure fine jusqu'à 10nm de taille avec une variation de précision inférieure à 1 %. En plus de son extraordinaire consistance de gravure, PLASMATHERM SLR-730 assure un contrôle précis de la vitesse de gravure du matériau. Avec son interface utilisateur de programmation avancée (UI), les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de types de gaz et de mécanismes de distribution pour cadencer la vitesse de gravure sur le substrat. L'interface utilisateur permet de choisir parmi 6 paramètres plasmatiques différents, y compris la pression, le débit de gaz, la concentration de gaz et le temps d'impulsion total. Le SLR 730 dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels que des systèmes d'interception, des chambres à isolation thermique et une fonction de démarrage et d'arrêt à distance en option. Ceux-ci garantissent que les utilisateurs peuvent utiliser l'unité sans aucun risque pour eux-mêmes ou l'environnement. Sur le plan pratique, la machine est dotée d'un design ergonomique, avec un fonctionnement simple tactile de l'outil. Cela garantit que les utilisateurs peuvent ajuster rapidement et facilement tous les paramètres et faire des progrès dans la tâche à réaliser. Ceci est complété par la chambre à vide amovible à base de poudre de l'actif, qui permet d'économiser du temps et de l'effort lors du changement de substrats et des cycles de nettoyage. Les exigences d'entretien du SLR-730 sont minimes, avec seulement des cycles de nettoyage périodiques requis. Ceci est dû à la longue durée de vie des bobines magnétiques du modèle, qui sont plus efficaces et nécessitent peu d'entretien. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR 730 est un graveur/asher haute performance qui offre une grande combinaison de caractéristiques. Il fournit des résultats de gravure précis, reproductibles et uniformes avec des variations de précision jusqu'à 10nm. En outre, l'interface utilisateur de l'équipement permet une sélection rapide et intuitive des réglages, qui est complétée par les caractéristiques de sécurité du système et les exigences d'entretien efficaces. Toutes ces caractéristiques font de PLASMATHERM SLR-730 un excellent choix pour tout professionnel à la recherche d'un graveur/asher fiable et précis.
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