Occasion PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 770 ECR
ID: 293605777
Etcher Substrate size: 100 mm Microwave generator: 1 KW, 2.45 GHz RF Generator plates: 500 W, 13.56 MHz Substrate mounting: Mechanical Temperature range: 0°C to 50°C Gases: CHF, SF, CF, O, N, H, Ar.
PLASMATHERM SLR 770 ECR est un graveur/aser de pointe fabriqué par PLASMATECH, un fournisseur industriel de premier plan d'outils de procédé et de solutions de systèmes. Cet équipement de pointe utilise du gaz ionisé (plasma) pour graver, nettoyer et soigner une gamme de matériaux. Cela comprend le verre, la céramique, les plastiques, les métaux et les matériaux semi-conducteurs. Le PLASMAHERM SLR 770 ECR est rempli de nombreuses avancées technologiques. Le processus de gravure/ashing est combiné en une seule unité compacte, permettant un traitement rapide et efficace des plaquettes. Il dispose également d'une serrure de charge pour un accès rapide à la chambre de gravure et d'un système de vide intégré pour un débit plus élevé. En outre, le SLR 770 est conçu pour le fonctionnement à distance pour un accès facile pour l'opérateur. L'etcher/aser a intégré des fonctions de diagnostic qui utilisent RF et l'analyse de la température, ainsi que la cartographie de la température avancée pour optimiser le processus. En outre, l'appareil dispose d'un système de recette avancé pour maximiser la qualité et l'uniformité des gravures et offre également des contrôles conviviaux et une navigation facile. La flexibilité de PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECR permet également une gamme de recettes de gravure spécifiques selon le matériau. Ceci peut être facilement réalisé en utilisant la distribution manuelle de gaz et ses paramètres de processus réglables, tels que le courant et la tension, le mélange de tension, le cycle de pré-réglage et la source de plasma. L'etcher/aser dispose également d'un moniteur LCD très haute résolution et d'une interface utilisateur graphique intuitive qui fournit une rétroaction visuelle, ce qui simplifie les opérations. L'appareil dispose également d'un dispositif de chauffage intégré, de contrôle du débit de gaz et d'étalonnage automatisé, ainsi que de capacités de diagnostic et de contrôle à distance, pour améliorer la fiabilité et la sécurité des processus. Le dispositif est également livré avec des caractéristiques de sécurité intégrées telles que la protection ESD et la limitation de surpression sous vide. Le PLASMAHERM SLR 770 ECR a également une conception modulaire, ce qui le rend facile à intégrer et à utiliser avec les systèmes de gravure existants. Il a également un coût très compétitif, ce qui en fait un excellent choix pour les organisations qui cherchent à élever leurs processus de gravure.
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