Occasion PLASMATHERM SLR 770 ICP #9363201 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 770 ICP est un graveur/asher de haute précision conçu pour fournir des processus de gravure et d'ashing précis. Il utilise une plate-forme modulaire pour fournir une large gamme de processus de gravure et d'ashing. Cet etcher/asher est conçu pour fournir un processus continu et répétable avec un minimum d'erreurs de maintenance et de répétabilité. PLASMATHERM SLR-770 ICP est un graveur/asher à deux chambres qui utilise un plasma sec isotrope basse pression pour la gravure et un plasma sec haute pression pour la cueillette. Le plasma basse pression est alimenté par le générateur de plasma et est constitué d'oxygène, d'azote et d'argon. Le plasma haute pression utilise un motif d'étincelle sèche pour générer un arc électrique basse tension, créant un additif de cendres vaporisées. Les deux plasmas sont ensuite combinés et stockés dans une chambre isolante. La combustion du matériau est initiée par le PC pendant la phase de pré-traitement et se poursuit pendant le processus de gravure ou de cueillette. La matière étant gravée ou cendrée par l'association des deux plasmas, la chambre est ensuite purgée à l'azote pour éviter tout effet indésirable. SLR 770 ICP est conçu pour fonctionner avec des matériaux résistants aux gravures/cendres tels que des substrats semi-conducteurs ou diélectriques. Le graveur/asher est conçu pour fournir des processus de gravure et d'ashing précis et reproductibles, ainsi que pour garantir des performances cohérentes. La chambre est également équipée de plusieurs dispositifs de sécurité, notamment : arrêt à haute température, interrupteur de défaut au sol (GFI), circuit de commande et isolation haute tension. Le graveur/asher de haute précision utilise la technologie plasma VHF-Arc la plus avancée et est entièrement piloté par ordinateur. Cela permet de définir et de stocker un large éventail de paramètres de processus, notamment : temps de gravure et de cendres, températures et pressions. Le procédé est quantifié et mesuré à l'aide d'une gamme de capteurs tels que : oscillateurs à quartz, capteurs de température et de pression. Ceci permet de réaliser des procédés contrôlés et répétables sur plusieurs substrats. Le grand écran LCD et l'interface utilisateur intuitive font de SLR-770 ICP une machine facile à utiliser. En outre, la machine peut être équipée d'une caméra de surveillance de la chambre de processus, permettant à l'utilisateur de surveiller la chambre de processus en temps réel. Cela fournit une couche supplémentaire d'assurance de la qualité, assurant que les processus sont exécutés correctement et répétant le processus sur les substrats subséquents. Dans l'ensemble, le PLASMATHERM SLR 770 ICP de haute précision est conçu comme un outil fiable et rentable pour les processus de gravure et d'ashing. La plateforme modulaire, la technologie avancée de plasma à arc VHF, l'isolation haute tension, la facilité d'utilisation et la haute précision font de PLASMATHERM SLR-770 ICP un choix attrayant pour les utilisateurs à la recherche d'une solution de graveur/asher fiable.