Occasion PLASMATHERM SLR 770 RIE #293753769 à vendre en France

PLASMATHERM SLR Series est un équipement de gravure et de cendrage à sec conçu pour fournir un contrôle précis de la vitesse de gravure et de gravure d'une variété de matériaux semi-conducteurs. Le système intègre une puissante capacité de gravure de flanc et anisotrope, ce qui le rend idéal pour la gravure à travers la plaquette, la gravure de couches minces et la fabrication de petites caractéristiques sur les dispositifs semi-conducteurs. L'unité dispose également d'un large choix de technologies sources pour améliorer les processus de gravure, y compris la gravure plasma et ionique réactive, et le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression. La série SLR offre une machine facile à utiliser, entièrement automatisée, avec des menus graphiques conviviaux et des interfaces tactiles. L'outil comprend un actif sous vide intégré, un robot de processus pour la manipulation des substrats et des plaquettes, et fournit une variété de processus de gravure pour la sélectivité des gravures et le contrôle du taux de gravure. Il offre un alignement de haute précision des substrats, une gravure à résistance rapide et un transfert de motifs avec une excellente uniformité et répétabilité. La série PLASMATHERM SLR comprend également des capacités avancées de contrôle des processus, y compris le contrôle simultané multi-paramètres, la traçabilité des processus et des logiciels haut de gamme avec des capacités de modélisation et de simulation des processus. Le modèle intègre également des capacités de métrologie avancées pour surveiller et optimiser la répétabilité et le contrôle des processus, et offre une gamme de revêtements spécialisés et de traitements de durcissement pour améliorer les propriétés des substrats et améliorer la protection contre les processus de gravure et de dépôt. L'équipement comprend également une variété de dispositifs de sécurité pour protéger les utilisateurs et les substrats. Il s'agit notamment de systèmes de refroidissement multiples, de gestion de l'ozone, de surveillance automatisée des procédés et de protection contre les surpressions. Le système offre également une variété de technologies de gestion et de filtration des gaz d'échappement, y compris la surveillance de la durée de vie des filtres, les procédures de nettoyage et d'entretien à bord, et les capacités de déclaration intelligentes pour stocker l'information de processus pour référence future. La série SLR est une unité de gravure et de cendrage puissante, fiable et innovante. Il fournit d'excellents résultats de gravure avec une meilleure sélectivité de gravure, répétabilité des processus et contrôle des processus, et offre des fonctionnalités de sécurité améliorées et des capacités de métrologie supplémentaires. Cette machine est un choix idéal pour un large éventail de besoins de gravure et de cendrage, de la précision à des dispositifs à l'échelle quasi atomique.