Occasion PLASMATHERM SLR 770 #9271304 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 770 est un équipement de gravure spécialement conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Elle a pour but de graver des couches de matériau indésirable de la surface d'un substrat tel qu'une plaquette de silicium. SLR 770 utilise la technologie à base de plasma pour une gravure efficace, très précise et répétable. Le système se compose de trois composants principaux, une électrode (qui est la grande électrode située près du fond de l'unité), une source d'ions, et une chambre de gravure. La chambre de gravure elle-même est en acier inoxydable et est hermétiquement fermée. A l'intérieur de la chambre, les gaz de gravure sont introduits par une série de canaux de gaz et émis par des buses situées autour des bords. Un générateur RF est alors utilisé pour créer un champ plasma, permettant d'activer et d'ioniser le gaz de gravure. Grâce au procédé très efficace, la gravure peut être contrôlée plus précisément et des profils de gravure répétables peuvent être réalisés. PLASMATHERM SLR 770 peut graver dans une variété de matériaux, y compris le silicium, le silicium polycristallin, les métaux, les verres, les oxydes et les nitrures. Une pompe à vide embarquée assure que la chambre fonctionne dans un environnement à basse pression tout en gravant, ce qui améliore les performances de gravure, la répétabilité et la précision. De plus, l'unité dispose d'une machine automatisée de manutention des plaquettes, permettant de placer rapidement et facilement les substrats dans la chambre de gravure, puis de les retirer par la suite. SLR 770 comprend également des fonctions de contrôle avancées qui permettent aux utilisateurs de programmer des protocoles de gravure qui conviennent à différents travaux et tâches. Par exemple, l'utilisateur peut établir un programme de gravure à une certaine profondeur, avec une composition gazeuse particulière, ou avec une vitesse de gravure spécifique. Cela permet à l'outil d'être adapté aux besoins de n'importe quel travail. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR 770 est un puissant outil de gravure conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs les plus exigeantes. Il dispose de contrôles précis, de profils de gravure répétables, et de capacités de programmation avancées pour fournir une gravure très efficace d'une variété de matériaux avec une reproductibilité superbe.