Occasion PLASMATHERM SLR 770 #9407588 à vendre en France

Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
SLR 770
ID: 9407588
Taille de la plaquette: 6"
Inductively coupled Plasma (ICP) Etcher, 6" Controller type: PC Upgraded ICP Process Module (PM) High power ICP Applicator Lower electrode, φ 10" Ceramic wafer clamp Helium backside cooling Load lock chamber with linear robotic arm Load lock arm with programmable stepper motor and controller Gas distribution box with 4 Gas channels MKS 1479 Metal sealed mass flow controllers Option: 4 Gas channels (2) RFPP AMNPS-2A Auto matching network controllers RFPP RF5S RF Generator: 500 W at 13.56 MHz RFPP AMN-5 500 W Auto matching network RFPP RF20M RF Generator: 2000 W at 2.0 MHz RFPP AMN-20 2KW Auto matching network SHIMADZU TMP1003 MAG LEV Turbo pump with controller VAT 64 Rectangular throttle valve with VAT PM5 Controller INFICON MPG500 Ion gauge on ICP Chamber MKS 325 Moducell Pirani gauge on load lock WATLOW Three zone chamber heater controller EDWARDS QDP80 Dry roughing pump on process module AGILENT DS 302 Mechanical pump on load lock SMC HRR018 Rack mount chiller; 5°C - 45°C Temperature range Analog and Digital I/O Modules controlled by BECKHOFF Ethernet I/O Via Modbus TCP/IP Communications protocol Pneumatic valves controlled by SMC Modules via Modbus TCP/IP Communications protocol PC: UBUNTU LINUX OS Intel I7 CPU at 3.4 GHz 16 GB RAM 500 GB SSD SMC Pneumatic valves Standard flat panel monitor, 2" Keyboard Mouse Electrical disconnect box - 208 VAC, 60 Hz, 3-Phase.
PLASMATHERM SLR 770 est un graveur/asher plasma monobloc et est l'un des modèles les plus avancés disponibles sur le marché. Il offre une combinaison unique de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de nettoyer, graver et asher divers substrats avec des niveaux de précision sans précédent. La machine est équipée d'une gamme de caractéristiques qui lui permettent de fonctionner à la fois comme un graveur et asher. Il est capable de contrôler le processus de gravure et d'ashing avec une précision allant jusqu'à 0,1 μ m grâce à son contrôleur de débit massique avancé et son système d'enregistrement de données embarqué. La machine dispose d'une alimentation programmable en gaz de procédé. Ceci permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres de gravure et d'ashing pour une application particulière et de basculer entre gravure et ashing au milieu du processus. La machine possède également un niveau de précision vraiment remarquable. Il a une abondance d'oxygène et une précision de nettoyage allant jusqu'à 0,001 %. La machine dispose également d'un faisceau ionique très puissant qui lui permet de graver, asher et nettoyer avec un très haut degré de contrôle. La machine est conçue avec la sécurité en tête et dispose d'une chambre de processus en boucle fermée qui assure un haut niveau de sécurité. La chambre présente également un design d'amortissement acoustique et est capable de maintenir un vide jusqu'à 760 mbar et la pression de fonctionnement est réglable. La machine est également très rentable. Il est capable de graver et d'asher rapidement et efficacement, et ses coûts d'exploitation sont très faibles par rapport aux autres modèles sur le marché. Dans l'ensemble, SLR 770 est une machine avancée qui est un excellent choix pour tout processus de gravure ou de cueillette. Sa combinaison de précision, de sécurité et de rentabilité en fait un choix idéal pour une gravure et un cendrage précis et efficaces.
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