Occasion PLASMATHERM SLR 770 #9407588 à vendre en France
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ID: 9407588
Taille de la plaquette: 6"
Inductively coupled Plasma (ICP) Etcher, 6"
Controller type: PC
Upgraded ICP Process Module (PM)
High power ICP Applicator
Lower electrode, φ 10"
Ceramic wafer clamp
Helium backside cooling
Load lock chamber with linear robotic arm
Load lock arm with programmable stepper motor and controller
Gas distribution box with 4 Gas channels
MKS 1479 Metal sealed mass flow controllers
Option: 4 Gas channels
(2) RFPP AMNPS-2A Auto matching network controllers
RFPP RF5S RF Generator: 500 W at 13.56 MHz
RFPP AMN-5 500 W Auto matching network
RFPP RF20M RF Generator: 2000 W at 2.0 MHz
RFPP AMN-20 2KW Auto matching network
SHIMADZU TMP1003 MAG LEV Turbo pump with controller
VAT 64 Rectangular throttle valve with VAT PM5 Controller
INFICON MPG500 Ion gauge on ICP Chamber
MKS 325 Moducell Pirani gauge on load lock
WATLOW Three zone chamber heater controller
EDWARDS QDP80 Dry roughing pump on process module
AGILENT DS 302 Mechanical pump on load lock
SMC HRR018 Rack mount chiller; 5°C - 45°C Temperature range
Analog and Digital I/O Modules controlled by BECKHOFF Ethernet I/O Via Modbus TCP/IP Communications protocol
Pneumatic valves controlled by SMC Modules via Modbus TCP/IP Communications protocol
PC:
UBUNTU LINUX OS
Intel I7 CPU at 3.4 GHz
16 GB RAM
500 GB SSD
SMC Pneumatic valves
Standard flat panel monitor, 2"
Keyboard
Mouse
Electrical disconnect box - 208 VAC, 60 Hz, 3-Phase.
PLASMATHERM SLR 770 est un graveur/asher plasma monobloc et est l'un des modèles les plus avancés disponibles sur le marché. Il offre une combinaison unique de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de nettoyer, graver et asher divers substrats avec des niveaux de précision sans précédent. La machine est équipée d'une gamme de caractéristiques qui lui permettent de fonctionner à la fois comme un graveur et asher. Il est capable de contrôler le processus de gravure et d'ashing avec une précision allant jusqu'à 0,1 μ m grâce à son contrôleur de débit massique avancé et son système d'enregistrement de données embarqué. La machine dispose d'une alimentation programmable en gaz de procédé. Ceci permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres de gravure et d'ashing pour une application particulière et de basculer entre gravure et ashing au milieu du processus. La machine possède également un niveau de précision vraiment remarquable. Il a une abondance d'oxygène et une précision de nettoyage allant jusqu'à 0,001 %. La machine dispose également d'un faisceau ionique très puissant qui lui permet de graver, asher et nettoyer avec un très haut degré de contrôle. La machine est conçue avec la sécurité en tête et dispose d'une chambre de processus en boucle fermée qui assure un haut niveau de sécurité. La chambre présente également un design d'amortissement acoustique et est capable de maintenir un vide jusqu'à 760 mbar et la pression de fonctionnement est réglable. La machine est également très rentable. Il est capable de graver et d'asher rapidement et efficacement, et ses coûts d'exploitation sont très faibles par rapport aux autres modèles sur le marché. Dans l'ensemble, SLR 770 est une machine avancée qui est un excellent choix pour tout processus de gravure ou de cueillette. Sa combinaison de précision, de sécurité et de rentabilité en fait un choix idéal pour une gravure et un cendrage précis et efficaces.
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