Occasion PLASMATHERM SLR 770B #9302637 à vendre en France

Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
SLR 770B
ID: 9302637
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1998
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE), 4" With 6" kit Etching silicon uses photoresist mask Gasses: Argon for plasma Sulfur Hexafluoride (SF6) for Silicon etching Octafluorocyclobutane (C4F8) for passivation layer Oxygen (O2) for chamber clean Nitrogen (N2) for venting 1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 770B est un équipement unique de gravure et d'asher qui combine les processus de gravure et d'ashing en une seule plate-forme. Ce système utilise une technique propriétaire Plasma-Therm Pro- Lift™ pour obtenir un degré plus élevé de précision et de répétabilité ainsi que des économies significatives. En utilisant les procédés de gravure et de cendrage du plasma RF et DC, l'unité est idéale pour une variété d'applications de gravure et de cendrage. A titre d'exemple, cette technique est utilisée pour contrôler le profil de gravure à travers un masque inhomogène. La machine standard SLR 770B offre une fonction d'ouverture de charge qui permet des processus de gravure et de cueillette par voie humide à bord. Cet outil peut également accueillir un large éventail de substrats de matériaux métalliques ou à base de plastique pour une plus grande polyvalence. La machine est également conçue avec un obturateur avancé et un outil de levage qui fournit une fenêtre de gravure optimale pour promouvoir une profondeur de gravure uniforme, le contrôle du profil et la répétabilité. De plus, le modèle comprend également un apport d'azote pour réduire la contamination et les oxydes pendant les processus de gravure et de cueillette du plasma. Le système de convoyeur à entraînement direct de l'équipement fournit une vitesse de gravure et de cueillette uniforme et personnalisable pour une sécurité et une efficacité maximales. Les capacités de contrôle de température de PLASMATHERM SLR 770B garantissent également un processus de gravure et de cueillette efficace, de haute qualité et sûr, exempt de toute contamination par les particules. L'unité offre également une large gamme d'accessoires tels que des plaques de navette, des piédestaux, des ascenseurs et des masques, pour répondre aux besoins les plus exigeants de gravure et d'ashing. SLR 770B est conçu pour répondre à un large éventail d'exigences de production. Il offre la capacité d'effectuer la gravure au nitrure, la gravure de tranchées profondes en silicium ou de petites caractéristiques à haute résolution, et l'aspiration de résidus organiques ou de métaux. La machine offre également des temps de virage plus rapides et une répétabilité sûre ainsi que des opérations sécurisées en salle blanche. La technique de fenêtre Pro- Lift™ favorise l'uniformité et l'excellente isolation thermique, augmentant encore la répétabilité et la qualité des processus. PLASMATHERM SLR 770B est parfait pour graver ou aspirer des systèmes de haute précision à partir de substrats dont les dimensions varient de 5 à 500 mm. Sa large gamme de caractéristiques de sécurité assure un fonctionnement sûr et fiable. L'outil est certifié ISO 9001 et est parfait pour ceux qui exigent des résultats de gravure et de cueillette cohérents et de haute qualité. Avec des prix compétitifs, SLR 770B est un investissement idéal pour ceux qui ont besoin d'une gravure et d'actifs asher.
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