Occasion PLASMATHERM SLR 772 #9195260 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 772 est un graveur/asher de pointe qui fournit des capacités de processus de haute précision pour des applications telles que la gravure de semi-conducteurs, la recherche de matériaux et le dépôt de couches minces. Avec sa conception avancée, SLR 772 offre une précision, une répétabilité et une uniformité élevées pour les processus de gravure et d'ashing. L'équipement utilise une conception de tête de douche en spirale qui offre un accès uniforme, stable et facile à la chambre de gravure et au convoyeur de plaquettes. La tête de douche fournit précisément des paramètres de processus uniformes à la plaquette, assurant ainsi une gravure et une cendre précises et uniformes. PLASMATHERM SLR 772 peut traiter des plaquettes jusqu'à 5 pouces de diamètre, et peut fournir une pression maximale de 3 mTorr ainsi qu'une fonction de contrôle de pression automatisé qui permet une mise en place et un fonctionnement rapides. Une jauge à vide intégrée permet de vérifier le processus et l'étalonnage et peut être utilisée pour surveiller la température des plaquettes en temps réel. Le logiciel avancé fourni avec SLR 772 permet une optimisation complexe des processus grâce à la personnalisation des paramètres. La manipulation automatisée des plaquettes via le chargement et le déchargement des cassettes assure un minimum de temps d'arrêt du système. Une chambre de gravure/traitement réglable permet un traitement rapide et précis de différentes tailles de plaquettes. En outre, le processus de gravure peut être contrôlé par l'unité de vision informatique intégrée, qui fournit une analyse détaillée du processus. PLASMATHERM SLR 772 fournit une variété d'applications de gravure et de traitement, y compris la gravure d'isolation de tranchées peu profondes (STI), la gravure de gâchette, la gravure de trous de contact, la gravure de gâchette enterrée et la gravure de silicium polycristallin. La machine offre des taux de traitement très élevés, avec des temps de traitement aussi bas que 5 secondes. Le procédé de gravure peut être combiné avec d'autres opérations de procédé telles que le dépôt de plasma, ce qui permet la fabrication de dispositifs à haut débit. SLR 772 est un excellent choix pour une variété d'exigences d'application fournissant des résultats cohérents et reproductibles avec une grande efficacité et répétabilité des processus. Avec ses caractéristiques avancées et sa flexibilité, PLASMATHERM SLR 772 est un excellent choix pour les applications de gravure et d'ashing.