Occasion PLASMATHERM SLR/ECR #9123962 à vendre en France

PLASMATHERM SLR/ECR est un graveur/asher conçu pour la précision et la répétabilité dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est produit par PLASMATHERM, un fournisseur leader d'équipements et de solutions pour divers processus plasmatiques. Le SLR/ECR est utilisé pour divers procédés de gravure et de cueillette, et a des performances de gravure et de cueillette optimales avec une faible contamination, grâce à sa combinaison de traitement monobloc et de traitement par lots. PLASMATHERM SLR/ECR est idéal pour une variété de tailles de plaquettes de formes et de matériaux variés, et offre une large gamme de températures de fonctionnement ; jusqu'à 1300 ° C L'etcher/asher est équipé d'un équipement de mouvement de précision et d'un système de vision à distance, permettant aux utilisateurs de surveiller le processus en temps réel et d'effectuer des ajustements si nécessaire. L'unité de vision à distance fournit également une interface de télécommande, permettant aux utilisateurs de surveiller et de contrôler les processus de gravure et de cueillette depuis un endroit distant. Le SLR/ECR dispose d'une machine de livraison de gaz avancée qui fournit des flux précis et stables et le mélange de flux, permettant des résultats de gravure et de cueillette précis et reproductibles. L'outil offre également une série de capteurs de température embarqués pour assurer des conditions de fonctionnement cohérentes. Les capteurs de température fournissent également une rétroaction rapide à l'utilisateur sur les conditions thermiques à l'intérieur de la chambre de traitement et empêchent le surchauffe ou le refroidissement du procédé. En outre, PLASMATHERM SLR/ECR est livré avec une variété de caractéristiques de sécurité pour protéger les utilisateurs et les composants pendant le traitement. Il est équipé d'un mécanisme d'interception de sécurité pour prévenir l'exposition accidentelle à des matières dangereuses, tandis que l'actif de vision à distance est surveillé pour tout mouvement brutal ou changement brutal de pression. Une fenêtre absorbant les UV avec un couvercle protecteur protège les utilisateurs du rayonnement ultraviolet potentiel. PLASMATHERM SLR/ECR est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de précision et de répétabilité dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, et est idéal pour les procédés de gravure et d'ashing sur divers matériaux et tailles de plaquettes. Son modèle avancé de livraison de gaz, son équipement de vision à distance, ses capteurs de température et ses caractéristiques de sécurité en font un excellent choix pour les applications industrielles et de recherche.