Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 700 #9096334 à vendre en France
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ID: 9096334
Reactive Ion Etcher (RIE)
Pressure controller: PRM-1
RF generator supply: HFS 500
Mass flow control: MFC-5
Available options:
LH D60 WS/WA 251
Blower 179 CFM blower package
Vacuum hose and fittings.
PLASMATHERM/UNAXIS 700 est un équipement de graveur/asher avancé, capable d'une opération de gravure et d'ashing très précise et avancée. Il travaille en exposant des métaux, des polymères et des matériaux organiques à un plasma d'oxygène, d'argon, d'azote et d'hydrocarbures chlorés, créant des espèces réactives sur les surfaces qui gravent et cendrent rapidement le matériau. Le système utilise un contrôle multi-axes de haute précision pour la gravure précise et le cendrage à l'aide de divers outils de processus, y compris des systèmes de mouvement mono-axe, interactifs et multi-axes. L'appareil est équipé d'un contrôleur logique programmable (PLC) et d'un panneau de contrôle de l'interface utilisateur, permettant la programmation et la personnalisation des paramètres de gravure et d'ashing et l'utilisation de l'appareil dans un processus de production industrielle complexe. Le PLC est facilement accessible aux utilisateurs et permet une programmation, un diagnostic et une visualisation personnalisés des données de processus. L'interface utilisateur est préchargée avec des réglages manuels et semi-automatiques, et comprend également une fonction d'auto-séquence permettant de régler facilement plusieurs paramètres. L'unité est construite sur une plate-forme logicielle et matérielle d'architecture ouverte, offrant une flexibilité de processus et des capacités pour répondre aux besoins de tout client. L'architecture ouverte permet l'intégration des dernières technologies, y compris le contrôle des processus à grande vitesse, les diagnostics automatisés et les capacités d'intelligence de fabrication. L'architecture comprend également une suite logicielle puissante et évolutive basée sur des composants pour supporter les opérations etcher/asher. UNAXIS 700 est livré avec une machine avancée à deux étages de gravure/cendres, qui utilise un masque triboélectrique pour diriger le flux plasmatique, permettant une gravure précise et un cendrage à l'échelle minute. L'outil en deux étapes permet d'effectuer chaque étape du processus, y compris la pré-gravure, la gravure et l'ashing dans des paramètres individualisés, garantissant des résultats précis et précis. En outre, PLASMATHERM 700 offre des systèmes de protection avancés pour assurer un fonctionnement sûr et fiable, ainsi qu'un contrôle de qualité supérieur. Cela comprend un mécanisme d'auto-nettoyage innovant, qui élimine l'accumulation de particules dans la chambre, prévenant la contamination. Pour encore plus de qualité, le dispositif dispose de capacités d'inertage, permettant l'exclusion de l'air de la chambre de gravure/cendres pour des résultats plus purs. Au total, 700 est un atout puissant et avancé de graveur/asher offrant flexibilité et précision pour répondre à tous les besoins industriels de gravure ou ashing. Avec sa combinaison d'architecture ouverte, de contrôleur logique programmable, de modèle de gravure/cendres en deux étapes et de systèmes de protection avancés, il est un outil fiable et efficace pour le travail.
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