Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 760 #9314655 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS 760 etcher/asher de l'UNAXIS est une chambre de technologie avancée conçue pour les processus de gravure et de cueillette du plasma. En créant un environnement de haute pureté dans une chambre fermée, l'UNAXIS 760 fournit un micro-traitement fiable et reproductible. Ce graveur humide et asher de précision utilise des sources de puissance haute fréquence mono et/ou bi-fréquence pour permettre des applications de gravure et de cendrage de haute répétabilité et précision. PLASMATHERM 760 a une chambre de gravure et de cendrage thermiquement isolée avec une pression de fonctionnement variable comprise entre 0,1 et 1 Torr et des températures comprises entre -20 et 100 ° C Les processus de gravure de haute précision en 760 sont activés par un générateur de polarisation RF et un module de contrôle de processus avancé. Un couvercle de clamshell réglable, pouvant atteindre 250 mm de diamètre, facilite l'installation et le déchargement de l'échantillon. L'unité permet une variété de procédés de gravure anisotrope et isotrope et avec des vitesses de gravure optimales réalisables pour le silicium, le dioxyde de silicium, le polyimide et d'autres matériaux. PLASMATHERM/UNAXIS 760 intègre des mesures de sécurité avancées telles que l'arrêt automatisé de la sécurité des gaz, la sécurité des systèmes d'échappement, la détection de défaillance de la pression du processus et l'arrêt en cours. La chambre comporte également des épurateurs à ozone et à CO2, permettant une grande répétabilité et une chambre à débris faibles. Le chargeur et les robofeatures de l'unité permettent une manipulation flexible et automatique des plaquettes. Une cellule robotique sur UNAXIS 760 peut être étendue d'un minimum de 4 à un maximum de 8 fentes de cassette, permettant le balayage automatisé et le traitement de gravures de lots de plaquettes sur l'unité. Grâce à la technologie de pointe, vous pouvez accéder à distance à la chambre et surveiller les paramètres de contrôle de la chambre, recevoir des alarmes et envoyer des commandes depuis n'importe quel endroit. Le logiciel open Windows-based platform Monitor est une plate-forme pratique et conviviale pour surveiller, contrôler et documenter les processus de gravure. Dans l'ensemble, PLASMATHERM 760 de PLASMATHERM est une solution efficace et efficiente pour des applications de gravure et d'ashing de haute précision. Avec ses commandes de haute précision, ses capacités de manutention automatisée des plaquettes, ses fonctionnalités avancées d'accès à distance et sa conception sophistiquée des chambres, 760 est un choix idéal pour diverses exigences de gravure.