Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9225839 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS 790 Série de graveurs/cendres à plasma est conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs. Il a fait ses preuves dans l'obtention de gravures et de cendres de plasma de haute précision avec des applications de circuits intégrés spécifiques à des applications (IC). La série 790 de l'UNAXIS présente une conception à faible distorsion, intégrant une technologie unique de distribution de plasma uniforme. Cela garantit une haute précision de gravure et de cendrage, même pour les facteurs de forme et les applications les plus difficiles. PLASMATHERM Série 790 est construit en acier inoxydable et dispose de la technologie de pointe de l'industrie pour un fonctionnement propre et une gravure de haute précision. Une alimentation haute efficacité ICP, un équipement de refroidissement avancé et des systèmes de distribution de gaz indépendants, fournissent une plate-forme robuste et fiable pour vos besoins de gravure. La série 790 est équipée d'une caméra haut de gamme pour une inspection précise des plaquettes et d'une interface tactile pour faciliter l'utilisation et améliorer encore le processus de gravure. Le système optique réglable, couplé à l'imagerie haute résolution, permet des outils de gravure de haute précision pour n'importe quel facteur de forme et d'application. PLASMATHERM/UNAXIS 790 Series est livré avec une variété d'applications et d'options de gravure, y compris la gravure ionique réactive, la gravure par oxyde et la chimie.Le procédé de gravure ionique réactive utilise une combinaison de produits chimiques et d'ions pour obtenir des résultats de gravure précis avec de faibles dommages de surface. La gravure d'oxyde utilise une couche d'oxyde pour la gravure spécifique de la couche, permettant un contrôle précis d'un motif de gravure. La fonction de gravure du chem de la série 790 de l'UNAXIS est utilisée pour la gravure à haut débit et fonctionne rapidement pour obtenir des résultats précis. PLASMATHERM Série 790 permet également des capacités de suivi des processus et des outils, permettant le dépannage et l'évaluation des performances. Il s'agit d'une plate-forme facile à utiliser et fiable pour le suivi en cours de processus et l'évaluation finale. Avec la capacité de surveiller des aspects tels que la pression de la chambre, le débit de gaz, la puissance RF et le taux de gravure/cendres, les utilisateurs peuvent assurer des résultats de gravure cohérents et de haute qualité. La série 790 offre un certain nombre de caractéristiques supplémentaires pour maintenir un processus de gravure précis, comme le contrôle de pression, la régulation de la température et la purge des chambres. Le contrôle de pression assure une atmosphère constante dans la chambre, tandis que la régulation de la température assure des performances optimales de gravure et de cueillette. La fonction de purge de la chambre aide à garder la chambre propre en éliminant les particules et les matériaux indésirables. Enfin, PLASMATHERM/UNAXIS Série 790 comprend également une unité de sécurité avancée, qui surveille les dangers potentiels et contribue à réduire les risques d'accidents et de dommages. La série UNAXIS 790 offre une plate-forme fiable pour la gravure et l'ashing dans une variété d'applications de semi-conducteurs. Sa conception à faible distorsion, l'alimentation électrique du PIC, les systèmes avancés de refroidissement et de distribution de gaz, ainsi que toute une gamme de fonctions de gravure et de surveillance collaborent pour obtenir des effets précis et des résultats cohérents. L'assurance qualité et la sécurité sont prises en considération pour fournir une machine fiable pour vos besoins de gravure.