Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 790 #293597269 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS 790 est un graveur et asher automatisé. Il est conçu pour graver et aspirer des substrats jusqu'à 150mm de diamètre en utilisant l'énergie radiofréquence (RF). Il est adapté à une variété d'applications incluant la gravure de plaquettes, le nettoyage de surface, la lithographie et la fabrication de dispositifs microélectroniques. L'UNAXIS 790 dispose d'une interface facile à utiliser et d'un système de traitement entièrement automatisé. Son algorithme avancé de contrôle des processus assure des résultats de gravure et d'ashing uniformes sur la surface du substrat. La chambre peut être flashée avec une source d'alimentation RF 30W, et peut également être réglée à un niveau de puissance inférieur (200W) pour prolonger la durée de vie de la chambre. La température du plateau peut être réglée entre 100 et 400 ° C, et la pression à l'intérieur de la chambre peut être réglée entre 0,1-1,0mbar. La température du substrat peut également être surveillée et ajustée. Les paramètres du procédé, tels que le temps de dépôt du substrat, la vitesse de gravure et la température du substrat, peuvent être réglés et ajustés facilement. Les gaz de procédé et les concentrations peuvent également être contrôlés, et PLASMATHERM 790 peut être configuré pour utiliser des gaz de procédé secs ou des plasmas liquides. Une variété de gaz et de combinaisons liquides sont disponibles, y compris O2 et XeF2, H2/SF6, SF6/D2, Ar/CF4/CO2 et Ne/CO2. 790 est livré avec un système intégré de surveillance des processus et de collecte de données qui enregistre des informations importantes sur les processus, y compris la température, la pression, la durée et la puissance RF. Ces données peuvent être consultées en temps réel, ce qui permet une optimisation rapide et facile des processus. Son contrôle multi-modes double l'efficacité du traitement par lots, ce qui se traduit par un débit plus élevé. Les dispositifs de sécurité intégrés garantissent la sécurité et le respect des règlements de sécurité applicables. PLASMATHERM/UNAXIS 790 est une solution de gravure et d'ashing fiable et efficace pour la recherche et les applications industrielles. Son contrôle de précision, son système de maintenance automatisé et ses capacités avancées de surveillance et de collecte de données garantissent des résultats de haute qualité avec une intervention minimale de l'opérateur.