Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667 à vendre en France
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ID: 9156667
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
PECVD system, 8"
Non-load lock
Heated lower electrode
Water cooled / heated chamber
Advanced Energy RF5S 500W 13.56 MHz power supply with match work
Windows OS
208 V, 60 A, 50/60 Hz
2001 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 est un équipement avancé de graveur/asher à plaque parallèle haute performance. Il est conçu pour la gravure fiable et économique de surfaces complexes. L'UNAXIS 790 facilite la gravure rapide des substrats jusqu'à 250 mm de diamètre, tout en assurant un fonctionnement de haute précision. Il dispose d'une chambre de procédé avec deux séries indépendantes d'électrodes de gravure et de cendrage composées d'une combinaison d'électrodes statiques, d'électrodes dynamiques fixes et d'électrodes indépendantes balayables. Ceci offre aux utilisateurs une flexibilité dans le motif de gravure, permettant une gravure uniforme ou sélective de toute géométrie de surface. PLASMATHERM 790 est équipé d'un système de contrôle automatisé intuitif, comprenant une variété d'options de télécommande. Il est conçu pour un montage, un fonctionnement et un entretien faciles. Il dispose d'une empreinte compacte, lui permettant de s'adapter à la plupart des paramètres de laboratoire. L'unité élégante et hautement intégrée offre une gravure fiable et précise avec une excellente répétabilité. 790 utilise quatre systèmes de distribution de gaz indépendants qui permettent à l'utilisateur d'ajuster les débits et le mélange de différents gaz pour obtenir un contrôle de gravure précis. La machine est capable d'intégrer facilement différentes sources de plasma, telles que les sources de plasma radiofréquence (RF), ultraviolet (UV) et courant continu (DC), pour fournir une large gamme de capacités de gravure. Un outil optimisé de verrouillage de charge ajoute à la polyvalence du processus, permettant un échange rapide de substrat et des résultats reproductibles. PLASMATHERM/UNAXIS 790 dispose également d'une vaste gamme de recettes de gravure et de dépôt, ce qui facilite la personnalisation des paramètres de gravure pour des applications spécifiques. L'actif intègre plusieurs caractéristiques de sécurité avancées, telles que la surchauffe et la protection contre la surpression, garantissant que le modèle fonctionne efficacement et en toute sécurité en tout temps. L'équipement est conçu pour une gravure stable à long terme, avec une excellente uniformité dans la zone gravée. De plus, UNAXIS 790 est livré avec un système d'enregistrement de données intégré convivial, qui permet un suivi facile des résultats des gravures. Dans l'ensemble, PLASMATHERM 790 est une unité de gravure idéale pour les laboratoires qui exigent des résultats de gravure et de cueillette fiables, précis et économiques. La combinaison de caractéristiques de conception avancées de la machine, une configuration et un fonctionnement faciles, et une excellente répétabilité et sécurité, en font le choix idéal pour tout laboratoire.
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