Occasion PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170 à vendre en France
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ID: 9157170
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
ICP etcher, 8"
Manual load
Non-load lock
Single chamber
Advanced energy RF5S- 500W RF power supply for lower electrode
AM5 match work and controller
Advanced energy RF10M - 1000W RF power supply for upper electrode
AM10 match work and controller
Leybold 361C turbo pump with 150/360 controller
HP 919 Hot Cathode Ion gauge controller
(6) MFCs, He backside wafer cooling, Clamp style chuck
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790 est un graveur/asher avancé conçu pour des applications de gravure de haute précision. Cet outil innovant utilise des technologies de pointe pour offrir des performances supérieures avec une qualité fiable. Son puissant générateur de plasma est capable de délivrer jusqu'à UNAXIS 790 W de puissance plasma, avec des trajectoires de faisceau variables, ce qui le rend idéal pour graver divers matériaux et substrats avec une large gamme de propriétés d'adhérence. La machine est équipée d'un logiciel de gestion des processus contrôlé par PC qui peut programmer les cycles de processus, définir les paramètres de sortie et surveiller les performances de l'équipement. En outre, le logiciel permet à l'opérateur de contrôler avec précision la température de la chambre avec son introduction précise de gaz. Il dispose d'une conception très flexible qui permet une large gamme de paramètres de processus et de configurations de substrat. PLASMATHERM 790 a une capacité de 25 litres, une capacité de charge de 5 kg et une zone de travail de type tour avec une capacité d'atteindre des températures allant jusqu'à 400 ° C Il est également équipé d'un système avancé de contrôle sans contact qui surveille la technologie et le processus des paramètres nécessaires. Ce graveur/asher est également livré avec une double impulsion et un contrôle réactif du processus de gravure ionique qui fournissent un degré de précision inégalé pour les applications de gravure chimique, de dépôt et de gravure. En outre, la machine hautement automatisée dispose d'un certain nombre de systèmes automatisés tels que l'activation du plasma et la surveillance automatique de la pureté des gaz. Le 790 propose une variété d'accessoires conviviaux tels qu'un panneau d'opérateur à écran tactile, un microscope numérique et une unité automatisée d'inspection des défauts. Ces add-ons fournissent un contrôle complet du processus et des performances supérieures de la machine. En outre, l'unité est soutenue par un ensemble complet de services et de soutien qui comprend des diagnostics à distance 24/7, la maintenance et l'aide en ligne. Cela garantit que l'unité fonctionne à des performances de pointe en tout temps. PLASMATHERM/UNAXIS 790 est l'outil parfait pour graver et aspirer un large éventail de matériaux. Ses caractéristiques avancées, sa construction robuste et sa conception conviviale le rendent idéal pour tout travail de gravure ou de cendrage, que ce soit sur une grande échelle ou un petit projet de recherche.
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