Occasion PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline est un graveur/asher humide innovant destiné aux industries de la microélectronique et de la nanotechnologie. UNAXIS Shuttleline dispose d'une plate-forme de traitement des plaquettes à source unique et peu coûteuse, permettant le traitement simultané de jusqu'à 20 plaquettes, avec des recettes de gravure/cueillette sélectionnables. Il est conçu comme une unité autonome qui comprend des stations de pré-nettoyage et de post-nettoyage monobloc, ainsi que des systèmes de pré-nettoyage et de post-nettoyage par trempage par lots en option qui peuvent être améliorés pour augmenter le débit. Les chambres de processus disposent d'options à haute température jusqu'à 250 degrés Celsius, chambres statiques ou dynamiques pour différentes recettes de gravure/cueillette, et la capacité de surveiller les événements de processus avec contrôle de processus in situ. PLASMATHERM Shuttleline est conçu pour traiter une large gamme de tailles et de matériaux de plaquettes, avec la capacité de traiter jusqu'à 150 mm de tailles de plaquettes. Shuttleline dispose également de « chambres antiblocage » pour réduire le temps de traitement et améliorer le débit. En outre, PLASMATHERM/UNAXIS Shuttleline est équipé d'un équipement de gestion des recettes, pour stocker et rappeler les recettes définies par l'utilisateur, ainsi que d'un système intégré d'acquisition et d'analyse des données, qui est capable de capturer des images de processus de laminage pour une analyse ultérieure. En plus de ses fonctionnalités avancées, UNAXIS Shuttleline est conçu avec une combinaison de flexibilité et de facilité d'utilisation, avec des supports de plaquettes interchangeables et des diagnostics automatisés pour un entretien rapide et facile. En outre, l'unité est équipée d'une gamme complète de dispositifs de sécurité, y compris une machine d'arrêt de pression d'urgence et une vanne d'arrêt automatique de l'eau, afin d'éviter les rejets de matières dangereuses et les dommages à l'équipement. Enfin, l'architecture ouverte de PLASMATHERM Shuttleline permet une intégration facile avec d'autres systèmes, pour des applications personnalisées. Dans l'ensemble, Shuttleline wet etcher/asher est un équipement de gravure/ashing incroyablement avancé et fiable qui est parfait pour les industries de la microélectronique et de la nanotechnologie. Sa combinaison de flexibilité, de sécurité, de rentabilité et de facilité d'utilisation en fait le choix idéal pour tout travail de gravure/ashing.