Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9201916 à vendre en France

ID: 9201916
Reactive ion etcher (RIE).
PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 est un système avancé de gravure et de cueillette de plasma utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer la gravure sèche pour produire des caractéristiques à l'échelle du nanomètre tout en conservant une bonne répétabilité du procédé et des rendements de production. Le graveur/asher a son propre contrôleur haut de gamme et est équipé d'une source de plasma de 30 pouces, permettant une capacité de gravure maximale de 20w/cm2. Il est alimenté par un système à vide haute performance, multi-tâches, avec la capacité de changer rapidement les paramètres de gravure tout en maintenant un environnement de processus stable. Sa technologie de gravure avancée permet un contrôle précis du processus de gravure jusqu'à une résolution sous-nanométrique. L'unité dispose d'une interface utilisateur graphique conviviale intuitive (interface graphique) avec la transmission d'informations de processus en temps réel. Grâce à son système d'autosurveillance, l'UNAXIS SLR 720 peut détecter et ajuster les conditions de processus en temps réel. Il offre une optimisation avancée des processus en réglant les paramètres dans des domaines tels que l'énergie ionique, la pression du gaz et le refroidissement. L'etcher/asher dispose de systèmes intégrés de diagnostic et de surveillance de l'état, qui peuvent détecter d'éventuels problèmes et garantir la qualité du produit final en temps opportun. Il est équipé de systèmes anti-contamination et de sécurité intégrés pour assurer le fonctionnement sûr de l'équipement. L'unité dispose d'une large fenêtre de procédé et peut être utilisée pour la gravure et la cueillette de diélectriques, d'arséniure de gallium, de silicium, de métaux, de polyimides et d'autres matériaux à des températures allant jusqu'à 500 ºC. Ses procédés automatisés permettent la compatibilité des substrats et leur élimination uniforme, sans endommager les substrats. Il a la polyvalence pour produire des tranchées profondes, des motifs gravés, des micro-vias et des caractéristiques de l'appareil aussi petites que 0,25 microns. En conclusion, PLASMATHERM SLR 720 est un graveur/asher avancé capable de produire des pièces de haute qualité et fiables à des résolutions nanométriques. Avec son interface utilisateur intuitive, ses processus automatisés, ses systèmes intégrés de sécurité et de diagnostic, il peut fournir aux utilisateurs des résultats fiables en temps et en coût.
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