Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9229827 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 est une unité de gravure/asher conçue pour des applications de gravure plasma de précision. Il est optimisé pour la gravure 2D ou 3D et la cueillette de substrats dont le silicium, le quartz, le semi-conducteur, le saphir et d'autres matériaux. L'UNAXIS SLR 720 utilise la technologie de gravure plasma en ligne (IPE) de l'UNAXIS pour fournir des résultats précis et reproductibles avec un débit élevé. L'unité dispose d'une chambre CVD d'une capacité allant jusqu'à 720 plaquettes. Il dispose d'un verrouillage de charge à commande directe et avec une répétabilité élevée, et le système intelligent de régulation de pression ajuste dynamiquement la pression tout en préservant l'environnement exempt de particules. La chambre de gravure a une pression de procédé réglable, et est équipée de PLASMATHERM MHD source de plasma de précision. Ceci fournit des taux de gravure très élevés tout en conservant une excellente sélectivité avec une large gamme de gaz de gravure y compris SF6, CF4, CF2Cl2, et beaucoup d'autres. L'unité est équipée de régulateurs de débit de masse électroniques pour le dosage précis des gaz de gravure et de cueillette, ainsi que la capacité de contrôler la température du substrat pendant le processus de gravure et de cueillette. En outre, le système supporte la technologie d'imagerie de panache de haute précision pour surveiller activement le processus de gravure et ajuster la recette de gravure pour plus de stabilité et de précision. Il dispose également de fonctions de réglage rapide en direct pour optimiser les paramètres du processus rapidement. En termes de sécurité, l'unité est équipée de multiples fonctions de contrôle de pression de processus et de nombreux capteurs de sécurité de pression. Cela garantit un environnement sûr pour le personnel et les échantillons sensibles tout en réduisant le risque d'échec du processus. En outre, l'unité dispose d'un système de refroidissement au CO2 efficace pour assurer un environnement de processus stable. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR 720 est une unité de gravure/asher polyvalente conçue pour des applications de gravure plasma de précision. Il dispose de nombreuses caractéristiques de sécurité et de contrôles de processus avancés permettant d'obtenir des résultats de processus reproductibles et fiables.