Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270614 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 est un équipement de pointe de gravure et d'ashing conçu pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes à base de plasma. Ses caractéristiques le rendent adapté à la R&D et à la production. UNAXIS SLR 720 a une grande taille de chambre de 11 "(270mm) de diamètre et est capable de traiter des plaquettes de 300mm. La construction se compose de zones plasma ultra haute et basse pression, qui sont isolées et indépendantes, permettant une plus grande flexibilité de processus. Le système comprend une unité de chauffage de substrat de grande longueur qui assure l'uniformité des gravures et des cendres à la température la plus basse possible. La chambre est équipée d'une unité de détection de point d'extrémité (EPD) pour détecter l'achèvement du processus. La zone haute pression de la machine a une puissance pouvant atteindre 1000W. Il dispose d'un contrôle numérique de puissance flottante avec réglage automatique de fréquence (AFT) qui aide à maintenir la précision et la répétabilité du processus. Il comprend également des points d'accord RF réglables qui améliorent l'uniformité et la répétabilité. L'outil est également capable de surveiller la pression in situ pour garantir une grande stabilité du processus et la cohérence entre les opérations. La zone de basse pression, quant à elle, a une puissance de crête allant jusqu'à 300W et possède deux conduites de gaz indépendantes à commande fluidique. La composition du gaz et la délivrance de quatre précurseurs peuvent être contrôlées individuellement en temps réel. La chimie de gravure à basse pression est unique dans sa capacité à graver sec. Elle est applicable à un certain nombre de procédés, y compris les procédés de décapage, de décapage et de contrôle d'épaisseur. Une vanne de fuite télécommandée est incluse pour assurer la sécurité pendant le fonctionnement. PLASMATHERM SLR 720 fournit également des fonctionnalités pour aider les utilisateurs à surveiller les caractéristiques critiques des plaquettes de leurs processus de gravure et de cendres. Il surveille la température, l'exposition au plasma, la puissance RF et la pression de la chambre. En outre, il dispose d'une fonction de détection d'endpoint (EPD) qui signale l'achèvement de la tâche et empêche le surtraitement des plaquettes. SLR 720 etcher/asher est un atout de premier plan qui allie robustesse, flexibilité et précision. Cet outil tout-en-un peut être utilisé pour une variété d'applications, offrant une efficacité et des performances supérieures. Grâce à sa simplicité d'utilisation et à sa précision, PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720 est un excellent choix pour tous ceux qui cherchent à créer des produits de plaquettes fiables et de haute qualité.