Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 etcher/asher est un outil de production très précis et puissant pour la gravure et l'ashing de plaquettes de silicium pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé d'une nouvelle chambre de processus de 8 chambres et d'une grande zone de processus pour les meilleures performances de gravure et d'ashing des recettes de processus de la ligne de production. Il fournit des résultats de processus plus efficaces pour la production en vrac sous vide et basse pression, ainsi que la meilleure uniformité et reproductibilité. UNAXIS SLR 730 est équipé d'un générateur RF fiable qui assure une gravure précise et robuste avec uniformité en termes de profondeur, de profil et de finition de surface. Il est capable de graver sur des plaquettes de tailles allant jusqu'à 300mm de diamètre avec des processus à haute résolution et répétables, grâce à son système de mouvement linéaire avancé et des fréquences d'accord. La commande automatique à commande informatique de pointe assure l'uniformité entre toutes les cavités et le temps de gravure. De plus, PLASMATHERM SLR 730 utilise un système unique de distribution de gaz qui permet d'assurer un débit de gaz optimal pour l'uniformité de gravure. Ce système permet d'assurer une distribution homogène du gaz de toutes les chambres et un débit uniforme vers la chambre, conduisant à une meilleure efficacité d'utilisation du gaz sous vide élevé et à un processus propre. De plus, le SLR 730 est construit avec une interface modulaire et des pièces, telles que des chambres, des tubes filtrants, des structures de support, des convoyeurs et des conduites d'évacuation du vide et du gaz. Il intègre également un contrôleur logique programmable modulaire (PLC) qui gère le contrôle et la détection des processus critiques dans le temps et fournit des mécanismes d'affichage dynamique, de réglage des paramètres et de traçabilité. Pour garantir la plus grande fiabilité et sécurité, PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730 etcher/asher est conçu avec un intérieur et extérieur en acier inoxydable, des redondances intégrées dans des composants fonctionnels critiques pour la sécurité des défaillances, des brides avec joints, des serrures électroniques, des détecteurs de fuites et des capteurs de température. Il est également conforme à toutes les réglementations et normes sanitaires et de sécurité applicables.