Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9224550 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 est un graveur/asher qui est conçu avec une productivité plus élevée, une stabilité supérieure, et un meilleur rendement grâce à son utilisation d'un contrôle de haute précision et un équipement avancé de séquençage des processus. Ce graveur-asher est capable de traiter une large gamme de substrats aussi bien simples que complexes à des vitesses rapides jusqu'à 18 000 wafers par heure. Il est capable d'obtenir d'excellents résultats pour les processus de gravure et de nettoyage post-gravure. L'UNAXIS SLR 740 présente un design innovant « double axe » qui combine deux étages tournants pour garantir des résultats optimaux. Cette conception à deux axes réduit le couple et les vibrations, améliorant la précision du processus de gravure et offrant une grande précision pour les substrats plus délicats. Avec sa définition de motif très précise, PLASMATHERM SLR 740 assure un temps de transfert et de réponse supérieur. Le contrôle de la profondeur de gravure est précisément géré avec son système avancé de contrôle des processus. L'unité électro-optique de SLR 740 utilise également une technologie d'impédance avancée pour surveiller en permanence le processus de gravure. Cette machine détecte les défauts de particules et de gaz sur les substrats de la plaquette et ajuste automatiquement le temps de gravure, le débit de gaz et la taille des lots pour fournir un contrôle de processus supérieur. PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 dispose également d'un générateur RF qui utilise l'activation plasmatique pour améliorer les taux de gravure et les rendements. Le générateur RF est programmable pour atteindre des taux de gravure élevés et des températures de processus basses, ce qui minimise à la fois les dommages des plaquettes et les changements conformationnels dus à la dilatation thermique. L'UNAXIS SLR 740 comprend également un outil avancé de gestion du chauffage qui permet aux utilisateurs de régler les températures de la chambre et du substrat pour garantir des performances optimales. PLASMATHERM SLR 740 réduit fortement les fluctuations de température et de processus pour obtenir des rendements plus élevés et une meilleure répétabilité même lors de longs processus de gravure. Dans l'ensemble, SLR 740 est un graveur/asher idéal pour le traitement de substrats et de matériaux de haute précision avec des temps de montage minimaux et des rendements améliorés. Sa conception à deux axes, son outil avancé de contrôle des processus et son générateur RF offrent un contrôle des processus supérieur et des taux de gravure optimaux pour d'excellents résultats finaux.