Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740 est un graveur/asher avancé qui est conçu pour la gravure plasma ultra-précise et le cendrage des plaques et des plaquettes dans les applications MEMS et micro-fabrication. Il est capable de produire des motifs avec un minimum de 0,2 μ m caractéristiques d'échelle, tout en fournissant une répétabilité supérieure aux méthodes abrasives. L'équipement est conçu avec une source de plasma à courant continu pulsé combinée à un système de différentiel de pression à haute résolution pour créer et maintenir une zone de pression différentielle près de la surface à graver et à asperger. Ceci permet un meilleur contrôle de la gaine plasma et une gravure/cueillette à basse température des matériaux. L'UNAXIS SLR 740 comprend également une technologie de gravure/cueillette de plasma à plusieurs étages pour un meilleur contrôle des processus et une meilleure qualité. Les caractéristiques avancées de l'unité comprennent une haute précision et répétable générateur RF haute matière pour assurer une gravure, un cendrage et une imagerie cohérents et fiables avec un faible coût par fonction. En outre, la machine est équipée d'un module dédié de distribution continue de gaz pour une utilisation avec plusieurs ensembles de gaz. Ceci est idéal pour les applications nécessitant une gravure/cueillette à basse température, et assurera des résultats plasmatiques cohérents et précis. L'outil comprend également un logiciel de contrôle et de conformité Vector Plus qui offre une sécurité illimitée des recettes et des recettes, ainsi qu'une interface graphique intelligente et conviviale pour la surveillance et l'enregistrement de tous les paramètres liés au processus. L'actif est également compatible avec une gamme de systèmes de manutention automatisés UNAXIS et non PLASMATHERM et de technologies de vide pour une plus grande flexibilité et une utilisation plus rapide des outils. Avec la capacité de graver/cendre un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le saphir, le silicium polycristallin et l'aluminium, et de produire une taille minimale de 0,2 μ m ou moins, PLASMATHERM SLR 740 est un choix intelligent pour toutes vos applications de MEMS et de micro-fabrication.