Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539 à vendre en France

PLASMATHERM / UNAXIS SLR
ID: 9250539
Taille de la plaquette: 6"-8"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"-8".
PLASMATHERM/UNAXIS SLR est un équipement avancé de gravure et d'ashing conçu pour les applications haut de gamme de la société UNAXIS. C'est un outil de gravure sèche haute performance avec un design multi-chambres et plusieurs systèmes de gravure et de cueillette. Il dispose d'une chambre à vide élevé qui permet le dépôt et la gravure de divers matériaux pour former des structures et des motifs complexes. L'outil dispose également d'un système de planarisation multi-étages à grande vitesse pour contrôler l'espacement entre lignes et créer des motifs précis afin de raccourcir les temps de traitement. Il offre également la capacité de modifier rapidement les temps de gravure et de cendrage, afin d'optimiser les performances du processus. La chambre peut être munie de multiples systèmes de gravure et de cueillette, tous capables de fonctionner à haute pression et à haute température. Ce faisant, l'unité est en mesure d'appliquer différents procédés de gravure et de cueillette sur différentes plaquettes et substrats. La machine est également capable d'appliquer plusieurs étapes de gravure, pour créer des motifs de haute résolution avec des structures complexes. Avec la combinaison d'un puissant outil à gaz et de systèmes optiques avancés, l'actif est en mesure de graver et cendrer des matériaux avec des taux de défauts faibles et une reproductibilité et une uniformité élevées. Le modèle peut également appliquer des procédés aux pressions les plus élevées et aux basses températures pour éviter la surchauffe et l'oxydation. L'équipement peut appliquer divers procédés de gravure et de cendrage à des matériaux tels que des substrats simples et double face, des LCD, des films, des métaux et autres. Il dispose également d'un système automatisé et d'une unité de correction des erreurs qui peut améliorer la productivité du processus de gravure/cendres. UNAXIS SLR est également livré avec une machine d'alignement de plaquettes haut de gamme pour assurer un alignement précis du substrat qui est crucial pour les motifs à haute résolution. Dans l'ensemble, PLASMATHERM SLR est un outil avancé de gravure et de cendrage qui peut être utilisé pour une grande variété d'applications, allant de la gravure complexe et des motifs complexes aux cendres LCD, films, métaux et plus encore. Il a également la capacité de traiter à haute pression et à basse température, et a automatisé l'alignement des plaquettes et les systèmes de roulage-à-couler, assurant des processus précis et reproductibles et une productivité élevée.
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