Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS SLR est un graveur/asher avancé spécialement conçu pour la haute propreté, la gravure haute performance et l'ashing de matériaux avancés y compris Si, GaAs, SOI, GaN, RTP et PECVD. Cet outil dispose d'une nouvelle conception d'alimentation RF unique qui améliore l'uniformité de gravure, contribue à une prévention supérieure des surgravures et contribue à assurer une excellente stabilité du processus. La pompe RF unique réduit également le budget thermique de chaque chauffe, permettant des temps de gravure plus courts. Le progiciel livré avec cette machine permet de contrôler tous les paramètres de puissance RF, de la régulation de la source et du niveau de puissance au contrôle du temps d'impulsion et à la stabilité de la chambre. L'équipement de caméra d'échantillonnage utilisé pour la surveillance du plasma permet une optimisation in situ des processus avec une surveillance précise des processus non destructifs. Le système de contrôle permet également une large gamme de systèmes de processus nouveaux et innovants en permettant la configuration et la modification des recettes de processus. L'outil est en outre équipé d'une unité de puissance basée sur la technologie des micro-ondes pour augmenter la précision et la flexibilité du contrôle des processus. En outre, une machine de refroidissement cryogénique est disponible en option, permettant des températures de traitement proches de -100 ° C pour certains matériaux. En outre, l'outil est installé avec divers systèmes de vide pour réduire la contamination des procédés et améliorer l'uniformité des gravures. L'UNAXIS SLR dispose d'un outil avancé de détection automatique du point final, empêchant la surgravure et assurant la répétabilité. La chambre de traitement standard sur la machine a une surface de fenêtre utilisable 75.4mm x 102mm pour la gravure et un volume de gravure de 15.2 litres. Une mise à niveau supplémentaire utilisant une mise à niveau en céramique peut augmenter la zone de fenêtre utilisable de 43,4 % et le volume de gravure de 50 %. PLASMATHERM SLR est un outil idéal pour la fabrication d'appareils de pointe et est une excellente option pour les ingénieurs de procédé à la recherche d'un outil qui fournit une excellente uniformité de gravure, des processus stables et des systèmes de surveillance de pointe.