Occasion PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973 à vendre en France
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ID: 9275973
Taille de la plaquette: 6"
ICP Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Load lock included.
PLASMATHERM/UNAXIS SLR est une solution de gravure et de cendrage plasma à haute vitesse conçue pour le micromachinage précis des matériaux durs. Il dispose d'une gamme de caractéristiques qui le rendent idéal pour la production d'applications technologiques de pointe, telles que les semi-conducteurs et les MEMS (systèmes micro-électromécaniques). UNAXIS SLR est conçu pour une flexibilité de processus avancée et une productivité élevée avec la capacité de traiter des substrats jusqu'à 300mm x 600mm. Il est adapté pour la cueillette et la gravure d'une grande variété de matériaux, y compris les métaux, la céramique et les polymères avec des vitesses de gravure allant jusqu'à 60 μ m/min. L'équipement de gravure et de cueillette de plasma est construit sur une plate-forme robotisée à trois bras pour permettre un traitement précis des substrats. Sa technologie à double pression offre des vitesses de gravure uniformes sur l'ensemble du substrat avec la plus grande précision. Il offre également l'un des systèmes de gravure/cendres les plus rapides et les plus robustes disponibles pour un retournement rapide dans l'industrie. PLASMATHERM SLR utilise des systèmes avancés de contrôle du plasma pour fournir des structures micromachinées de haute qualité. Un système d'extraction de plasma en trois étapes assure des rendements de substrat élevés et des coûts de fonctionnement faibles. La source de plasma accordable assure également une vitesse de gravure optimale et une uniformité indépendante des propriétés du matériau du substrat. L'unité offre également une large gamme d'options de gaz plasmatiques, y compris le chlore, l'oxygène, l'azote et l'argon, pour permettre des applications pour différents matériaux. Il dispose également d'une automatisation sophistiquée des processus pour les opérations à haut volume et à bas volume, assurant des rendements de substrat élevés avec une intervention minimale de l'opérateur. SLR est également très fiable, offrant non seulement des performances élevées, mais aussi des années de fonctionnement sans problème. Un commutateur intégré permet une télécommande sécurisée de la machine. Avec sa conception compacte et sa facilité d'installation, PLASMATHERM/UNAXIS SLR est un excellent choix pour les applications nécessitant un débit rapide, une précision supérieure et des rendements élevés.
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