Occasion PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #9311006 à vendre en France
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ID: 9311006
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2003
ICP Etcher, 4"
Loadlock
PM1 Chamber
Wafers type: Ceramic mechanical clamp
MX-400 Sidewinder wafer hander
SpectraWorks Optical endpointer
Gases: CF4, O2, N2, Ar, He, Cl2, BCl3, HBr
Heater:
JULABO Thermal H5S
JULABO Thermal H20S
Removed parts:
Turbo pump and turbo controller
Heat wrap for turbo
Roughing and backing pumps
RF Cables
Non-functional parts:
Wafer handler
BERKELEY 8-Axis controller
2003 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versaline est une technologie de pointe de graveur/asher conçue pour produire un rendement élevé et une qualité de surface supérieure pour une variété de matériaux utilisés dans l'industrie de la microélectronique. Ce graveur/asher de haute technologie utilise un procédé à base de plasma éprouvé qui peut effectuer des opérations de gravure et d'ashing avec précision pour tous les matériaux, y compris les métaux difficiles à traiter. Ses principales caractéristiques comprennent une production à haut débit, un faible coût de possession, une polyvalence et des temps de cycle rapides pour les mouvements de gravure et d'ashing. UNAXIS Versaline utilise la puissance radiofréquence pour produire du plasma haute température et haute puissance. Cette énergie thermique est convertie en énergie cinétique, qui est utilisée pour piloter les processus de gravure et de cueillette. Cette technique permet à PLASMATHERM Versaline de prendre des gravures et des cendres à un niveau de précision et de précision beaucoup plus élevé. Versaline etcher/asher utilise également une technologie plasma améliorée unique, qui permet un contrôle précis de la température et une répartition uniforme du plasma dans le gaz de procédé. Ceci assure un traitement uniforme du matériau sans perte de chambres ou de matériaux. PLASMATHERM/UNAXIS Versaline est conçu pour un entretien facile et il comprend un certain nombre de fonctions de nettoyage et de surveillance des processus. Il dispose également d'un système de contrôle simplifié, qui contribue à réduire le coût total de la propriété. De plus, le système Versaline de l'UNAXIS dispose d'une chambre de gravure basse pression haute sortie avec un couvercle étanche pour une meilleure sécurité, et une torche à plasma à faible coût qui réduit le coût de fonctionnement. PLASMATHERM Versaline est capable de manipuler différentes tailles et types de matériaux. Il utilise une combinaison de sources de plasma et de champ magnétique pour obtenir des gravures de surface à haute résolution. Versaline peut graver dans une variété d'angles, de la face droite à la surface inclinée ou courbe. Cela permet une grande flexibilité lors de la gravure de différentes formes et tailles de matériaux. De plus, PLASMATHERM/UNAXIS Versaline peut stratifier des couches de matériaux pour créer des structures multicouches, permettant des processus de précision avec des tolérances fines. Le système UNAXIS Versaline est idéal pour produire des processus de taille de lot avec des résultats précis. Il est bien adapté pour les assemblages haute densité, comme ceux que l'on trouve dans les téléphones cellulaires, les écrans de télévision haute définition et d'autres produits électroniques sophistiqués. Ce graveur/asher hautement fiable est adapté à une grande variété de procédés de fabrication et offre une productivité accrue pour les petites et grandes opérations de production. PLASMATHERM Versaline est également bien adapté pour les applications de prototypage rapide en raison de ses temps de cycle rapides et d'un excellent contrôle des processus.
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