Occasion PLASMATHERM / UNAXIS Versalock 700 #9311007 à vendre en France
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ID: 9311007
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2000
PECVD System, 4"
(2) Process chamber
Load lock
Wafer handler
PM1:
For HDCVD
Gases: SiH4, N2, NH3, N2, O2, Ar, SF6
Wafer type: Mechanically clamped wafers
PM2:
For PECVD
Gases: SiH4, N2O, NH3, N2, CH4, He, SF6
Wafer type: Electrostatic chuck
Removed parts:
PM1:
Roots blower package
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
Vacuum tees
He MFC for wafer backside
ENI (Bias) RF Generator
ICP RF Match network
RF Cables
Match position controllers
PM2:
Roots blower package
Air regulator assembly
Gas box exhaust switch
NESLAB Chiller
PM7 Controller
RF5S RF Generator
Waterflow sensor
RF Feedthrough
N2O MFC (PM2)
RF Cables
Match position controllers
Missing parts:
Capacitor housing for ICP
BROOKS AUTOMATION Robot for wafer handler
2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalock 700 est un graveur conçu pour des applications de précision et de gravure à haut débit. Il est conçu pour offrir aux utilisateurs une qualité, une précision et une répétabilité supérieures. L'UNAXIS Versalock 700 est un équipement de graveur et asher de qualité industrielle qui permet des vitesses de gravure rapides, avec des vitesses allant jusqu'à 28 nm/min., pour l'accélération des processus. PLASMATHERM VERSA LOCK 700 est un système automatisé, modulaire et configurable, qui est équipé de plusieurs zones pour la flexibilité et les performances. Il est conçu pour fournir une précision et une répétabilité inégalées avec un séquençage précis du vide et du gaz, un contrôle thermique et une optimisation du profil des processus. PLASMATHERM/UNAXIS VERSA LOCK 700 dispose d'une imagerie et d'un positionnement ultra haute résolution pour un alignement et une répétabilité supérieurs, et d'un procédé de gravure haute vitesse al/Cu pour une sélectivité et des taux de gravure supérieurs. Il est également équipé d'une caméra CCD infrarouge avancée pour la surveillance en boucle fermée et l'optimisation des processus, et de multiples zones d'outils pour la gravure haute performance, le nettoyage, la sensibilisation aux photomasques et la gravure O2. PLASMATHERM Versalock 700 est également équipé d'un design ergonomique efficace qui permet l'efficacité utilisateur et le tri du produit tout au long. Il est conçu pour une intégration transparente dans les systèmes existants, avec des capacités de surveillance complètes et des outils de dépannage. Il est construit avec une chambre à quartz contrôlée par la température, permettant un contrôle précis des températures de processus. Versalock 700 dispose d'une source de pression variable, permettant un contrôle de processus supérieur et la reproductibilité des résultats sur une large gamme d'assemblages. Dans l'ensemble, UNAXIS VERSA LOCK 700 est une machine de graveur et asher haute performance conçue pour la précision, la répétabilité et des performances de qualité supérieure. Il est équipé de nombreuses caractéristiques conçues pour répondre aux applications de gravure et de cendrage les plus exigeantes, et est hautement configurable et modulaire, offrant une précision et une productivité supérieures.
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