Occasion PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9075710 à vendre en France
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Vendu
ID: 9075710
Taille de la plaquette: 8"
ICP System, 8"
Single chamber
Front end
Robot
ICP Process module
Equipped with ICP source
(8) Gas channels
Transfer module: HINE 4.5 robot
Load module: Dual cassette platform, 8"
PLASMATHERM Design
Wafer mapping sensors
Mag lev turbo
Turbo controller
Process baratron.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 est un graveur/asher de pointe conçu pour des matériaux difficiles en micromachine avec une précision et une rapidité élevées. C'est le produit le plus avancé de sa catégorie, avec une gamme de technologies avancées de graveur/asher, y compris un système d'entraînement linéaire, une chambre à vide puissante, et une tête de plasma à basse température durable. Le système d'entraînement linéaire permet un bon fonctionnement et un usinage rapide et précis. Il est conçu pour éliminer les déformations et les désalignements dus à la dilatation thermique, assurant un fonctionnement fiable même avec des matériaux extrêmement sensibles. La chambre à vide de haute précision offre un excellent contrôle et répétabilité du processus, un débit de gaz réglable et des niveaux de pression réglables. Ceci assure une gravure et un cendrage uniformes, avec un minimum de déchets matériels. Le Plasma Head offre un contrôle de température uniforme pour les processus à basse et haute température. Il dispose d'une buse auto-alignante pour une livraison précise des gaz réactifs, et d'un contrôle de la rétroaction de précision pour s'assurer que chaque processus est réglé de manière optimale pour une précision maximale. De plus, la tête plasma est conçue pour minimiser la contamination, prolonger la durée de vie de l'outil et assurer des résultats vierges. Avec une large gamme de matériaux de chambre compatibles, UNAXIS VLR 700 est adapté à une variété de processus de gravure et d'ashing, permettant aux utilisateurs d'obtenir une précision exceptionnelle micromachining. Il dispose de paramètres de recette réglables et d'automatisation logicielle, ce qui le rend idéal pour la production de prototypes et le fonctionnement à haut volume. L'outil est également conçu pour un fonctionnement et une maintenance simples, permettant aux utilisateurs d'effectuer la maintenance rapidement et facilement. Dans l'ensemble, PLASMATHERM VLR 700 est un graveur/asher avancé qui offre aux utilisateurs des performances et une précision inégalées. Il offre un large éventail de fonctionnalités et de capacités, telles qu'un système d'entraînement linéaire, une puissante chambre à vide, une tête de plasma de précision, des paramètres de recette réglables et une automatisation logicielle qui le rend adapté à une variété de tâches. Conçu pour un fonctionnement et un entretien simples, il est capable d'atteindre une précision et une répétabilité élevées avec un minimum de déchets.
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