Occasion PLASMATHERM / UNAXIS VLR 700 #9384115 à vendre en France

PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 est un graveur/asher de pointe adapté aux applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un appareil hybride plasma/asher/asher capable de travailler à la fois avec des procédés de gravure et d'ashing pour différents types de surfaces de matériaux. C'est un système modulaire composé de trois composants principaux interconnectés qui permet la meilleure précision et flexibilité lors du traitement des substrats. Le générateur RF est l'un des composants principaux de l'UNAXIS VLR 700 et supporte à la fois les processus de gravure et d'ashing. Il est capable d'atteindre des niveaux de puissance allant jusqu'à 1000 watts avec une gamme de fréquences comprise entre 20 kHz et 13,56 MHz et supporte l'uniformité, la répétabilité et un excellent contrôle des processus plasmatiques. Cela facilite le traitement précis, améliore les rendements et réduit le coût de la propriété. La Chambre de Process de PLASMATHERM VLR 700 est la pièce maîtresse de l'unité et est conçue pour fournir un environnement plasma homogène à basse pression. Sa faible empreinte permet une installation et un entretien faciles, tandis que ses caractéristiques amovibles, rechargeables et les ports d'accès polyvalents facilitent le chargement, le déchargement et l'entretien efficaces des substrats. La chambre de procédés est équipée d'une machine efficace de surveillance de la santé et convient pour des procédés tels que la gravure, le nettoyage et la construction de couches minces et de nanostructures pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Enfin, le Contrôleur est le centre de contrôle du VLR 700, permettant aux utilisateurs de surveiller, maintenir et contrôler efficacement les processus de gravure/ashing. Il permet la manipulation de plus de 150 paramètres différents et est facilement intégré à des systèmes externes en utilisant des interfaces standard de l'industrie. Le contrôleur comprend des capacités diagnostiques avancées, ce qui le rend adapté à une variété de conditions de processus et de recettes de processus. PLASMATHERM/UNAXIS VLR 700 fournit un outil de graveur/asher intégré et complet qui est idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs telles que le MEMS, la gravure par couches minces, la nanofabrication et l'emballage avancé. Sa combinaison de capacités de gravure et d'ashing, de caractéristiques haut de gamme et d'un excellent contrôle des processus permet aux fabricants de produire des composants de haute qualité et fiables efficacement, avec des rendements supérieurs et un meilleur rendement de leurs investissements.