Occasion PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9139629 à vendre en France
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ID: 9139629
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2002
ICP LM-TM system, 6"
2002 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR est un type de graveur/asher généralement utilisé pour le traitement des semi-conducteurs et d'autres applications. Il est capable de traiter des centaines de plaquettes par heure en utilisant ses jets de plasma à haute température et d'autres composants intégrés. L'ensemble de l'équipement est conçu pour être convivial mais efficace, et ses différentes caractéristiques de sécurité en font une option appropriée pour les environnements professionnels ainsi que les laboratoires à domicile. UNAXIS VLR contient un guide d'onde planaire de haute précision qui envoie des jets de plasma hautement focalisés à travers une chambre de productivité liquide ouverte à la fois à l'atmosphère et à un système de vide. Les jets de plasma sont capables d'atteindre des températures supérieures à 1000 ° C et sont utilisés pour enlever la matière de la surface de la plaquette. La chambre de productivité liquide est un récipient à quartz de 300mm contenant une alimentation indépendante en liquide de recirculation pour contrôler la température et l'environnement corrosif à l'intérieur de la chambre. L'unité contient également un module de refroidissement intégré et une interface informatique, permettant aux utilisateurs de programmer et de surveiller le processus de gravure. Le module de refroidissement permet de refroidir rapidement le substrat une fois le processus de gravure terminé, ce qui permet un cycle de production rapide et efficace. L'interface informatique permet non seulement la programmation de la machine, mais aussi la surveillance en temps réel et l'enregistrement des données. Ainsi, les utilisateurs peuvent surveiller les conditions de processus et les résultats dans un effort pour maintenir le plus haut niveau de précision. Enfin, PLASMATHERM VLR dispose également d'un large éventail de dispositifs de sécurité pour assurer un risque minimal de dommages aux plaquettes ou aux utilisateurs. Cela comprend un outil fermé qui empêche le personnel d'entrer en contact avec les produits chimiques corrosifs utilisés dans le processus de gravure, ainsi que plusieurs capteurs intégrés qui assurent le fonctionnement sûr et efficace de l'actif. Globalement, VLR est un graveur/asher efficace et fiable, capable de manipuler des centaines de plaquettes par heure avec précision. Grâce à ses jets plasmatiques à haute température, son module de refroidissement, ses fonctions de sécurité intégrées et son interface informatique, il est adapté aux réglages professionnels et domestiques, offrant aux utilisateurs un modèle efficace et performant qui peut être utilisé pour produire des plaquettes de haute précision.
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