Occasion PLASMATHERM / UNAXIS VLR #9205770 à vendre en France
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ID: 9205770
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2002
(2) ICP LM-TM System, 6"
2002 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS VLR est un outil unique de gravure à sec et d'ashing conçu pour le traitement de grands substrats. L'équipement est conçu pour traiter des substrats jusqu'à 300mm de diamètre, et avec une vitesse de gravure maximale de 10 microns/minute, il peut répondre à la demande la plus élevée de production à haut volume. En plus de ses capacités de production à haut volume, UNAXIS VLR offre également des caractéristiques de surface supérieures, une productivité élevée et des coûts de fonctionnement faibles. Le système est capable de traiter une grande variété de matériaux de substrat, y compris des matériaux à base d'oxyde, diélectrique, organique et polymérique. La configuration polyvalente de la chambre permet également une gamme de procédés de gravure contrôlés tels que la polymérisation du plasma, la gravure du plasma, la gravure sèche, l'activation de la surface et la gravure métallique. L'unité offre également la possibilité de processus de gravure séquentielle pour différents types de substrats, permettant la production de dispositifs avec des structures complexes et des géométries 3D. Les caractéristiques uniques de la machine ont été conçues pour répondre aux normes de qualité et de performance les plus élevées. Sa chambre à double vide offre un temps de traitement efficace et des performances constantes à haut débit. L'outil avancé de contrôle des processus (PCMon) permet d'assurer des processus de précision hautement reproductibles, tandis que la compatibilité CAO optionnelle permet un changement rapide d'outil pour un débit maximal. En outre, l'actif est compatible avec un large éventail de normes de certification et de sécurité, y compris le marquage CE, la directive UE-CEM et UL/CSA. PLASMATHERM VLR est livré avec une interface utilisateur embarquée robuste et plusieurs ports d'entrée/sortie numériques pour la connexion aux systèmes en réseau. Le modèle de diagnostic intégré et le logiciel d'exploitation offrent une configuration et un fonctionnement automatisés, tandis que la tendance en temps réel et l'enregistrement des données offrent un contrôle complet des paramètres et de l'état des processus. De plus, l'équipement est équipé d'embouts de sécurité, de gaz de blindage et d'un retardateur d'oxydation pour une solution respectueuse de l'environnement. Globalement, VLR est un graveur/asher très avancé idéal pour une production à haut volume. Il offre une combinaison unique de fonctionnalités performantes, une interface utilisateur intuitive et une solution respectueuse de l'environnement. Avec une large gamme de substrats et de procédés, le système est parfait pour les utilisateurs qui nécessitent un contrôle de précision et la répétabilité de leurs opérations de gravure et de cueillette.
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