Occasion PLASMATHERM Versaline #293592006 à vendre en France

PLASMATHERM Versaline
ID: 293592006
Taille de la plaquette: 6"
ICP-RIE System, 6" PSS ICP: 4" x 4".
PLASMATHERM Versaline etcher/asher est un appareil de gravure et d'ashing de pointe conçu pour des performances supérieures dans les applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système dispose d'une large gamme de solutions de gravure et d'ashing pour une variété de substrats et de procédés. Versaline dispose d'une chambre de process très flexible et d'une large gamme de configurations. Cette chambre dispose d'une entrée et d'un échappement de gaz indépendants pour assurer un contrôle précis de l'environnement du procédé. L'agencement de la chambre présente une disponibilité de deux zones avec une zone d'aspiration isotrope et une zone de gravure directionnelle. Cela permet à l'unité d'être mise à l'échelle afin de répondre à différentes exigences de processus. PLASMATHERM Versaline utilise une source avancée de pulvérisation magnétron qui fournit un contrôle précis du flux et une grande uniformité. Il dispose également d'un environnement sous vide très efficace, avec une machine à impulsion en place pour maintenir des conditions propres et réduire la quantité de contaminants qui pourraient affecter le processus. L'atmosphère inerte à l'intérieur de la chambre garantit des résultats de la plus haute qualité. En outre, Versaline dispose d'un outil intégré de verrouillage de charge, permettant aux utilisateurs un contrôle précis de l'atmosphère de gravure. Cet actif dispose également d'un module de purge de gaz piloté par ordinateur, permettant un contrôle précis des gaz. PLASMATHERM Versaline dispose également d'un contrôle précis de la température, permettant aux utilisateurs de choisir les températures de processus optimales pour leurs substrats et procédés spécifiques. Versaline est conçu pour un fonctionnement précis et fiable, avec une faible exigence de maintenance et d'excellentes performances. En outre, le modèle a des capacités de surveillance et de diagnostic avancées, donnant aux utilisateurs l'information dont ils ont besoin pour optimiser efficacement leur processus. Dans l'ensemble, PLASMATHERM Versaline etcher/asher est un équipement avancé, très efficace et facile à utiliser qui fournit des solutions de gravure et de cendrage précises. C'est un système idéal pour toute application de fabrication de semi-conducteurs, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de la plus haute qualité. Il est conçu pour la fiabilité et la performance, avec une faible exigence de maintenance et d'excellents résultats de processus.
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