Occasion PLASMATHERM Versaline #293602359 à vendre en France

PLASMATHERM Versaline est un graveur/asher sophistiqué conçu avec précision et une ingénierie avancée pour offrir des performances de gravure et d'ashing puissantes. Équipé d'un plasma in situ moderne et propriétaire, Versaline offre les plus hauts niveaux de gravure, de précision et de répétabilité. Sa flexibilité permet le traitement rapide de différents matériaux et tailles de plaquettes, variant automatiquement le débit de gaz, la pression et les paramètres d'allumage du plasma pour garantir une qualité de procédé élevée. Les fonctions et contrôles avancés de PLASMATHERM Versaline permettent aux utilisateurs de micrométriser et d'ajuster à la fois la zone de gravure/cendres et la profondeur sur une grande variété de matériaux, ainsi que la gravure à haut rapport d'aspect. Travaillant avec de l'oxygène ou du chlore, le graveur/asher est idéal pour de nombreux types de matériaux, dont le silicium, le germanium, la silice et le verre, le GaAs, le nitrure de silicium et le diamant polycristallin. Composée d'une console BCD (Base Configuration Device), d'une plate-forme matérielle intégrée et d'une façade de port gravée, Versaline utilise des techniques avancées de contrôle des procédés pour fournir une atmosphère de ventilation, inerte ou oxydante, un grand réseau de plasma et un contrôle des gaz. En outre, les systèmes ion-énoch du système, le suscepteur chauffé et les systèmes intégrés de canon électronique travaillent ensemble pour optimiser la différenciation des processus et assurer une contamination minimale. Grâce à sa technologie Flexible Modular Control (FMC), PLASMATHERM Versaline assure l'uniformité et la stabilité des paramètres de gravure et d'ashing, ainsi que la surveillance en temps réel et le contrôle des processus. Les systèmes disposent également d'un système d'alerte vibrante intégré pour signaler toute situation anormale afin que le processus puisse être corrigé rapidement. Avec une large sélection de modules de transfert, Versaline offre une mise en œuvre très flexible des recettes, une manipulation efficace des échantillons et la possibilité de combiner différents composants de processus, tels que la gravure isotrope, la gravure ionique réactive (RIE), la gravure diélectrique à double fréquence, la gravure d'isolement et plus encore. L'etcher/asher supporte également le transport de plaquettes avec des manipulateurs automatisés pour permettre la fabrication de jusqu'à huit plaquettes par lot. Au total, PLASMATHERM Versaline est un graveur/asher puissant et innovant qui permet des performances répétables fiables et un contrôle précis. Avec ses fonctionnalités étendues, Versaline offre une capacité supérieure qui garantit une qualité de processus et une capacité supérieures pour un large éventail d'applications.