Occasion PLASMATHERM Versaline #293621803 à vendre en France
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ID: 293621803
Style Vintage: 2014
ICP-RIE System
Missing parts:
Valves
Elevators
Power supplies
Generators
Pumps
2014 vintage.
PLASMATHERM Versaline etcher/asher est un équipement avancé de gravure de plasma et de cendres conçu pour fournir des capacités exceptionnelles de gravure de pièces, de nettoyage de plaquettes et de traitement de surface. Ce système est composé de composants modulaires qui peuvent être personnalisés pour répondre à des besoins et des tendances spécifiques dans l'industrie des solutions de gravure/cendres. La chambre de procédé de Versaline est composée de 304 acier inoxydable et d'une doublure PFA. Ce graveur/asher est scellé sous vide, étanche aux gaz et résistant à l'acide pour assurer un fonctionnement fiable et sûr. Un puissant générateur de champ électrique crée un plasma dans la chambre de procédé dans l'atmosphère d'oxygène ou d'azote avec des températures de fonctionnement et des niveaux de pression variables. Ce plasma permet à PLASMATHERM Versaline de graver des formes compliquées, des évidements et des motifs sur métal, alliage, céramique et semi-conducteurs avec une grande précision et répétabilité. Le procédé de gravure est habituellement réalisé par une série de procédés chimiques tels que la gravure avec des solvants organiques, l'oxydation humide et la gravure ionique réactive (RIE). Cette unité propose deux techniques de gravure distinctes, la « gravure chimique humide » et la « gravure ionique réactive ». En outre, Versaline dispose également d'un procédé combiné de gravure humide et sèche qui est bénéfique dans la préparation de composants industriels. Cet éther est résistant aux contaminants chimiques et mécaniques et peut être utilisé dans diverses applications, y compris le polissage mécanique chimique (CMP) et le traitement du plasma. PLASMATHERM Versaline offre également d'excellentes performances de préparation de surface, en raison d'une combinaison de facteurs tels que sa grande sensibilité, sa grande précision et sa capacité à contrôler de façon précise et répétée la vitesse et la profondeur de gravure. Dans l'ensemble, Versaline etcher/asher est une machine avancée et fiable conçue pour répondre aux besoins avancés de la solution de gravure/cendres. Il offre des capacités de gravure et de cendres polyvalentes, ainsi que des capacités de polissage mécanique chimique et de traitement du plasma, avec une précision et une répétabilité exceptionnelles.
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