Occasion PLASMATHERM Versaline #9254663 à vendre en France
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ID: 9254663
Taille de la plaquette: 3"-8"
Style Vintage: 2011
ICP Etcher, 3"-8"
(4) Chambers
(4) PM Modules
Cassette to cassette
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline est un équipement de gravure et de cueillette rentable pour la gravure diélectrique de précision et la cueillette rapide de substrats en polymère et en verre. Versaline est conçu pour un contrôle précis des paramètres de processus de gravure et offre des profils de gravure uniformes et reproductibles avec un dépassement de gravure minimal. En utilisant la puissance RF et une variété de gaz plasmatiques, on peut améliorer l'uniformité des gravures, la sélectivité et le contrôle du profil. PLASMATHERM Versaline se compose d'un seul mandrin circulaire et d'une chambre à vide à deux étages. Le mandrin comporte une électrode centrale qui est utilisée dans un procédé de gravure chimique par plasma généré. Quatre conduites de gaz alimentent la chambre en gaz de traitement et celle-ci est entourée d'une paroi précoolée et d'une vue en quartz pour la surveillance des procédés. Une bobine RF verticale mobile permet un réglage précis du profil de gravure plasma. L'unité fonctionne dans la gamme de pression de 50 mTorr à 760 Torr et dispose d'un sas pour l'aération et le chargement. Versaline etcher est conçu pour l'exécution de processus et est équipé d'une interface utilisateur complète et d'un éditeur de recettes de processus. L'interface avec la chambre est assurée par le contrôleur Versaline PLASMATHERM, qui utilise le logiciel Lambda. Le logiciel Lambda comprend une machine de surveillance avancée de la température du substrat, de la pression, de la puissance RF et de la densité du plasma. Les paramètres du processus peuvent être modifiés et ajustés en temps réel. En outre, l'outil Versaline offre également une gamme d'options complexes, y compris le mandrin électrostatique pour le contrôle de la température, la rotation du substrat, et la capacité de s'intégrer à une large gamme d'autres substrats, tels que les systèmes de dépôt de couches minces. PLASMATHERM Versaline est capable de traiter thermiquement rapidement une grande variété de matériaux échantillons, tels que des matériaux moléculaires nanocomposites, des polymères et des verres, et offre une excellente uniformité et un contrôle de profil de gravure. La capacité de contrôler avec précision le profil de gravure rend Versaline bien adapté aux processus de gravure, de cendrage et de recuit de haute précision. C'est également un outil idéal pour obtenir une profondeur et un profil contrôlés pour les applications de lithographie et de gravure à l'échelle nanométrique. PLASMATHERM Versaline est un outil de gravure et de cueillette rentable pour les appareils à échelle nanométrique, et il convient idéalement à un large éventail de laboratoires qui nécessitent des systèmes de gravure et de cueillette affinés. Versaline offre une excellente performance, précision et fiabilité dans la gravure des substrats à l'échelle nanométrique.
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