Occasion PLASMATHERM VLN - Versaline #9124972 à vendre en France

ID: 9124972
Style Vintage: 2005
ICP Etcher Manual load lock - four wafer transfer (RF1)ENI ACG-6B RF 500W - 13.56MHz power supply with a seren AT6NVL match work - MC2 controller (RF2) ENI GMW-25A 2500W - 2.00MHz with seren AT25NVL match work - MC2 controller Seiko seiki 1303CV turbo pump and SCU 700 controller Inter cal gate valve Edwards scroll roughing pump (6) Mass flow controller/gas lines with isolation Process and bypass valves He backside cooling Watlow chamber heaters and controllers Jorin yvon endpoint Plasmatherm windows based OS 208V, 3 Phase, 50/60 Hz 2005 vintage.
PLASMATHERM VLN - Versaline etcher/asher est une machine de traitement de plaquettes contrôlée de précision conçue pour graver/cendres différents types de matériaux, y compris les plaquettes, les substrats métalliques et de silicium. La machine utilise une source de plasma couplée à des niveaux élevés de contrôle et de précision pour fournir des résultats de gravure/cueillette supérieurs. Les principales capacités de Versaline comprennent des commandes de haute précision, une gravure/cueillette rapide du plasma et des fonctions sophistiquées de contrôle des processus, qui permettent un traitement difficile des plaquettes. La machine utilise un générateur RF 100MHz pour générer jusqu'à 900 watts de puissance RF pour une gravure/cueillette optimale des plaquettes. La chambre de 12 zones de gravure/cendres de la machine a une large gamme de mouvements et peut contrôler avec précision les paramètres de gravure/cendres, y compris la température pour une pureté de traitement optimale. Chaque zone dispose de ses propres systèmes indépendants de contrôle de processus et de contrôle de pression pour garantir des résultats précis. La machine dispose également d'une station de cuisson de 12 zones pour pré-traiter les plaquettes avant gravure/cueillette, permettant aux utilisateurs d'obtenir une meilleure uniformité et répétabilité du processus. La station Bake est équipée de ses propres systèmes indépendants de contrôle de la température et de la pression pour une plus grande précision et de meilleurs résultats. La chambre de gravure/cendres Versaline est faite d'aluminium de haute qualité avec une construction soudée, offrant rigidité, durabilité, et des performances de processus supérieures. Il dispose également d'une interface utilisateur programmable qui permet une programmation simple et efficace des paramètres gravure/cendres. De plus, l'interface utilisateur aide également à suivre l'historique des processus et à surveiller les performances en temps réel. En conclusion, VLN - Versaline etcher/asher est une machine de traitement des plaquettes contrôlée de précision conçue pour fournir des résultats de gravure/ashing supérieurs rapidement et avec précision. Il dispose d'une chambre de gravure/cendres multi-zones sophistiquée, d'une interface utilisateur programmable et d'une station de cuisson pour le prétraitement des plaquettes avant gravure/cendrage. Avec une construction de haute qualité et des fonctionnalités avancées, cette machine offre des résultats cohérents et un niveau élevé de satisfaction des clients.
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