Occasion PLASMATHERM VLR 700 #293759446 à vendre en France
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ID: 293759446
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2006
Dry etcher
2006 vintage.
PLASMATHERM VLR 700 est un outil de graveur/asher polyvalent conçu pour les applications avancées de traitement du plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement de pointe intègre des technologies innovantes pour permettre des processus de gravure et de nettoyage précis sur une variété de substrats, ce qui en fait une solution idéale pour la recherche et le développement ainsi que des environnements de production à haut volume. Au cœur du VLR 700 se trouve une source de plasma haute performance qui génère une densité de plasma très contrôlée et uniforme pour un traitement efficace. Le système est équipé de multiples ports d'injection de gaz, permettant un contrôle précis des débits de gaz et des compositions pour adapter la chimie de gravure ou de cueillette aux exigences spécifiques. En outre, l'unité dispose d'alimentations RF avancées pour produire et contrôler le plasma, assurant des conditions de traitement cohérentes et fiables. Une caractéristique clé de PLASMATHERM VLR 700 est sa machine de manutention de substrat de haute précision, qui permet un positionnement et un alignement précis des échantillons lors du traitement. Cela garantit des profils de gravure uniformes et élimine tout risque d'endommagement ou de désalignement des échantillons. L'outil comprend également un mécanisme sophistiqué de contrôle de la température pour maintenir le substrat à la température désirée tout au long du processus, améliorant encore la reproductibilité et le contrôle du processus. Le VLR 700 offre une large gamme de possibilités de processus, y compris la gravure de divers matériaux tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, les métaux, etc. Il soutient également les processus de cendrage pour éliminer les photorésist et autres contaminants organiques des substrats. L'actif fournit des recettes de processus configurables qui permettent aux utilisateurs d'optimiser des paramètres tels que le temps de processus, les débits de gaz, la température et les paramètres de puissance pour obtenir les résultats souhaités. En termes d'interface utilisateur et de contrôle, PLASMATHERM VLR 700 dispose d'une plateforme logicielle conviviale qui permet une programmation et un suivi faciles des paramètres de traitement. Le modèle offre des capacités de suivi des processus en temps réel et d'enregistrement des données, permettant aux utilisateurs de suivre les performances des processus et d'effectuer les ajustements nécessaires. En outre, l'équipement peut être intégré à un ordinateur hôte pour la surveillance et le contrôle à distance, améliorant l'efficacité globale et la productivité. Le VLR 700 est conçu avec un accent sur la fiabilité et la robustesse pour garantir des performances à long terme et un temps d'arrêt minimal. Le système est construit à partir de matériaux et de composants de haute qualité, et il fait l'objet de tests rigoureux et de procédures d'assurance qualité pour garantir un fonctionnement cohérent et fiable. En outre, l'unité est conçue pour un entretien et un entretien faciles, avec des composants accessibles et des pièces remplaçables par l'utilisateur afin de minimiser les interruptions des calendriers de production. Dans l'ensemble, PLASMATHERM VLR 700 représente une solution de pointe pour les applications de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa technologie de pointe, ses capacités de contrôle précises et son interface conviviale en font un outil précieux pour un large éventail de processus de recherche, de développement et de production. Avec ses performances et sa fiabilité supérieures, le VLR 700 est un atout clé pour les entreprises de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de haute qualité et à maximiser la productivité dans leurs opérations de traitement du plasma.
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