Occasion PLASMATHERM VLR #9156981 à vendre en France

PLASMATHERM VLR est un équipement de gravure et de cueillette de pointe conçu pour permettre la réalisation et le traitement de haute précision de divers substrats. Il utilise une combinaison de sources de plasma à résonance cyclotron à haute énergie et de recuit thermique rapide pour obtenir une précision et des performances impressionnantes. VLR est un système de gravure et d'ashing entièrement automatisé, capable de traiter des substrats de 1 à 9 pouces. L'unité dispose également d'une gamme de techniques d'injection de gaz et de gaz pour garantir des résultats de gravure optimaux. Le processus de gravure est contrôlé par une machine informatique intégrée, ce qui permet de définir et de surveiller un large éventail de paramètres de gravure. Une fois le processus de gravure terminé, le substrat est rapidement chauffé pour éliminer la résine photosensible résiduelle, laissant une surface propre prête à être traitée. PLASMATHERM VLR utilise une source de plasma à trois sources parallèles ECR pour obtenir des conditions de gravure précises. Le contrôle serré du plasma ECR permet une gravure de haute précision des structures profondes avec un rayon de courbure minimal. De plus, la capacité d'adapter les paramètres de gravure au processus et au substrat spécifique permet à l'utilisateur d'obtenir des résultats de gravure optimaux. Le VLR présente également un certain nombre d'autres capacités de processus telles que le contrôle de la sélectivité des gravures, le biais du substrat, le recuit profond et les prétraitements plasmatiques. Cela permet à l'utilisateur d'adapter le processus de gravure et d'ashing à ses besoins spécifiques. PLASMATHERM VLR offre également un outil de refroidissement intégré pour réduire les dommages causés par les taux de gravure élevés, assurant des résultats optimaux pour toutes les applications. En résumé, VLR est un actif avancé de gravure et de cendrage conçu pour l'établissement et le traitement de haute précision d'une variété de substrats. Le modèle utilise une combinaison de sources de plasma ECR et de techniques de recuit thermique avancées pour une précision et des performances impressionnantes. En outre, l'équipement offre une gamme de techniques d'injection de gaz de gravure et de gaz pour un contrôle supérieur des processus. Le système de refroidissement intégré garantit que les appareils ne sont pas endommagés par des taux de gravure élevés. Avec sa gamme complète de caractéristiques, PLASMATHERM VLR est l'outil parfait pour la gravure et l'ashing de haute qualité.