Occasion PLASMATHERM VLR #9205771 à vendre en France

PLASMATHERM VLR
Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
VLR
ID: 9205771
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1998
ICP Bosch, 6" 1998 vintage.
PLASMATHERM VLR est un graveur/asher de pointe conçu pour diverses applications dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de la microélectronique. Cette machine polyvalente est idéale pour la gravure ionique réactive profonde (DRIE), le cendrier plasma et d'autres procédés nécessitant une gravure et un cendrage précis. La machine est basée sur une conception à trois zones, ce qui permet de « prétraiter » le substrat dans la première zone avec de l'oxygène gazeux ou de l'azote activé pour éliminer les contaminants de surface et prévenir les dommages de surface. La deuxième zone est conçue pour affûter adéquatement les caractéristiques qui ont été gravées dans le substrat. La troisième zone fournit une atmosphère inerte, permettant la gravure et le recuit dans le même four. Cette machine est équipée d'un générateur de micro-ondes, qui est utilisé pour créer le champ de plasma. Ceci fournit un niveau de précision beaucoup plus élevé que les cendres traditionnelles qui utilisent la technologie RF (radiofréquence). La puissance micro-ondes peut être régulée, ce qui permet d'optimiser les débits des processus. Ceci fournit également une sécurité efficace, avec défaut de détection de désalignement du substrat entraînant un arrêt immédiat. La machine peut également être équipée d'une tête de décollage supplémentaire et d'une plaque de base, permettant le recuit dans un environnement sous vide - essentiel pour atteindre des niveaux élevés d'homogénéité dans le nickel et l'or. La plaque de base est également chauffée directement, ce qui permet une uniformité de température plus élevée. VLR est équipé de logiciels avancés, permettant aux utilisateurs de contrôler et de surveiller tous les aspects du processus. Il est également compatible avec une grande variété de gaz, ce qui lui permet d'être utilisé dans de nombreuses applications de gravure et de cueillette. Ces caractéristiques font de PLASMATHERM VLR un choix idéal pour une variété d'industries, permettant aux utilisateurs d'obtenir des niveaux élevés de productivité et d'efficacité avec un minimum d'efforts. La machine est également très fiable, assurant que les processus sont prévisibles répétables et que les résultats de qualité sont atteints de manière cohérente. Cela garantit que ce système polyvalent est un excellent choix pour atteindre des niveaux élevés de performance et de précision.
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