Occasion PLASMATHERM VLR #9225837 à vendre en France

PLASMATHERM VLR est un équipement avancé de gravure à sec conçu pour un micro-usinage de haute précision avec la capacité de graver des motifs 3D complexes. Le système est basé sur la technologie de gravure ionique réactive (RIE) standard de l'industrie, qui utilise un plasma haute tension pour éliminer les matériaux cibles d'un substrat de manière contrôlée. Il combine une luminosité spectrale élevée et une densité de puissance élevée pour atteindre des taux de gravure ultra-rapides avec une précision et une répétabilité très élevées. VLR se compose d'un générateur de radiofréquences à très haute fréquence (RF), d'un logiciel de commande d'unité et d'une chambre à vide avec deux sources de plasma planaires distinctes. Ces sources de plasma planaires, qui sont reliées au générateur RF, fournissent une génération de plasma homogène, assurant un micro-usinage de grande précision des pièces à multiples caractéristiques. PLASMATHERM VLR est conçu pour la chimie des gaz sous vide et réactifs sur une large gamme de matériaux, y compris de nombreuses structures à haut rapport d'aspect. Il est conçu pour supporter à la fois la gravure d'oxyde et de non-oxyde, avec une tension de polarisation réglable sur la chambre multi-planaire qui peut atteindre une sélectivité élevée pour différents matériaux. Cette machine de gravure est également capable de recuit, de passivation et de dépôt. L'outil supporte une large gamme de densités de puissance, assurant des paramètres de gravure optimaux pour diverses géométries. Il est équipé d'une surveillance en temps réel, permettant un contrôle précis des paramètres du processus de gravure. Le logiciel fournit également une interface conviviale pour le développement de recettes. VLR est conçu avec une faible empreinte et utilise des matériaux non corrosifs, le rendant facilement adaptable à presque tous les environnements de laboratoire, y compris les salles blanches. Il est également entièrement autonome, rendant l'installation et l'entretien de routine facile à effectuer. Dans l'ensemble, PLASMATHERM VLR est un excellent choix pour les applications qui exigent constamment une grande précision et vitesse. Sa combinaison unique de caractéristiques en fait le choix idéal pour les projets exigeants de micro-usinage rapidement et avec précision, avec des résultats reproductibles.