Occasion PLASMATHERM Waf'r Batch 74 #9050092 à vendre en France

PLASMATHERM Waf'r Batch 74 est un équipement de graveur/asher créé par Plasma Therm LLC. Il est conçu pour la gravure de précision et le cendrage de couches de masquage de < 200 µm et > 200 µm d'épaisseur. Le système par lots est conçu avec deux sources de gaz, l'une pour la gravure Plasma et l'autre pour Ashing. Les sources de gaz sont contrôlées par un contrôleur personnalisé, permettant des recettes de cycle simple ou multiple avec plusieurs options de contrôle de pression. L'outil dispose de chambres Pyrolytic Graphite (PG) avec un faible champ magnétique et une unité de chauffage-refroidissement robuste. Le PG fournit un environnement de vide optimal et assure des taux élevés d'uniformité de processus. La machine de chauffage-refroidissement assure que la température est maintenue à quelques degrés Celsius de la consigne à travers la plaquette. L'outil de lot dispose d'une conception modulaire, permettant une mise à jour facile en cas d'exigences de processus. Il est équipé d'un outil de charge et de déchargement à grande vitesse pour réduire le temps de traitement et d'un modèle de vide avancé pour un contrôle efficace du vide et la précision du processus. Il abrite un codeur haute vitesse et haute résolution pour assurer un positionnement précis des plaquettes et une gravure et un cendrage uniformes. Le logiciel utilisé par l'équipement de lot est convivial et offre à l'utilisateur des options pour enregistrer des recettes, avoir des capacités d'accès à distance et de réseautage pour les outils pris en charge, et générer des rapports. Le système de lots comporte également un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Il s'agit notamment d'un arrêt d'urgence, d'un dispositif de verrouillage, d'un panneau électrique et d'une machine à réfrigérer. L'arrêt d'urgence permet aux opérateurs d'arrêter rapidement l'outil en cas d'urgence. L'outil d'interception prévient les erreurs de l'opérateur et l'utilisation incorrecte. Le panneau de puissance surveille et contrôle l'actif. Enfin, le modèle de liquide de refroidissement permet de maintenir les températures à des niveaux sûrs. En résumé, PLASMATHERM Waf'r Batch 74 fournit une gravure et un cendrage fiables des couches de masquage de < 200 µm et > 200 µm d'épaisseur, à l'aide de systèmes sophistiqués et avancés. C'est un outil sûr et efficace, qui permet aux opérateurs de gérer facilement le processus de gravure et de cueillette.