Occasion PLASMATHERM Wafer/Batch 740 #293595644 à vendre en France
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PLASMATHERM Wafer/Batch 740 est un équipement de pointe de graveur/asher conçu pour répondre aux divers besoins du semiconducteur et d'autres industries nécessitant un contrôle de processus de haute précision. C'est un système tout-en-un graveur/asher qui permet à l'utilisateur d'obtenir une précision extrêmement élevée pour la gravure et l'ashing des substrats. Cette unité utilise plusieurs contrôleurs indépendants qui contrôlent et contrôlent précisément les processus de gravure et d'ashing pour la capacité de gravure de précision et la répétabilité des processus. La machine comprend un contrôle indépendant à base de recette pour chaque chambre de graveur/laveur et un contrôle automatique et répétable des processus, car plusieurs chambres fonctionnent en parallèle. Avec des modules logiciels intégrés et interactifs, l'utilisateur peut personnaliser l'outil etcher/asher pour répondre à leurs exigences de processus exactes. L'actif dispose de diagnostics avancés avec l'enregistrement des événements et le stockage des données de processus, et un contrôle d'accès puissant et sécurisé. Le modèle utilise une technologie de plasma à couplage inductif par micro-ondes de pointe, fournissant des procédés de gravure et de cueillette de la plus haute qualité, ce qui permet de contaminer le moins possible le substrat. Avec de multiples sources de plasma, l'équipement peut graver et asher dans un processus unifié. Ce système est bien adapté aux applications de fabrication avancées telles que le MEMS, la microfluidique et l'emballage avancé. PLASMATHERM Wafer/Batch 740 utilise une suite de suivi et d'analyse de processus, qui permet à l'utilisateur de surveiller précisément les paramètres de processus pendant le traitement de la plaquette. L'unité dispose de puissantes fonctions de calibrage et de nettoyage automatiques. La machine intégrée de sécurité et de contrôle des événements est conforme aux normes de sécurité et de processus les plus strictes. De plus, l'outil dispose d'un alignement intégré et d'un atout de recherche et développement de robot SCARA. Ce modèle est capable de produire des résultats répétables et un dispositif très précis. Il fournit des procédés de dépôt et de gravure rapides et cohérents, ainsi que le soutien d'une gamme de procédés avancés de fluxation et de métallisation. PLASMATHERM Wafer/Batch 740 répond aux exigences des applications de gravure et d'ashing les plus exigeantes. Avec sa conception extrêmement flexible et ses modules intégrés, il permet à l'utilisateur de créer des solutions de traitement des plaquettes très efficaces et rentables qui répondent à leurs spécifications et exigences de processus exactes. Cet équipement est une solution idéale pour les applications semi-conductrices et de fabrication avancée.
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