Occasion POLARON PT7160 #293636654 à vendre en France

POLARON PT7160 est un graveur/asher réactif de pointe conçu pour la gravure de précision et l'ashing de matériaux diélectriques et conducteurs. C'est un graveur/asher robuste et performant avec une large gamme de capacités de processus. L'équipement comprend un générateur RF 300 MHz et un module de contrôle de processus qui permet un réglage précis de la pression de la chambre et des vitesses de gravure/cueillette. Il dispose d'une chambre à quartz et d'une technique automatisée de prélèvement de miroirs pour un contrôle précis des profils de gravure ou de cendrage. PT7160 est capable de traiter des substrats standards et non standards, tels que des plaquettes de silicium oxydées, des semi-conducteurs composés (III-V, II-VI et IV-VI), des composés phosphurés (GaAs, AlGaAs, InGaAs et InP), des matériaux supraconducteurs et des nitrures III. La chambre est conçue pour fonctionner avec une large gamme de gaz, y compris des mélanges de O2, CHF3, SF6 et H2. Le système dispose également d'une plage de pression de chambre de 1 à 10 mTorr, ce qui permet une bonne sélectivité, des taux de gravure faibles, et des profils de gravure/cendres précis. Les vitesses de gravure et de cueillette peuvent également être ajustées avec précision avec une plage de chambre de température de 10-900 ° C POLARON PT7160 a une excellente répétabilité des processus, avec des taux de gravure et de cendrage maintenus à ± 5 %. En outre, l'unité offre des capacités de processus polyvalentes telles que la gravure multicouche, le marquage, le nettoyage de surface, la gravure, la tranchée et le profilage. La machine est également équipée d'un mélange programmable de gaz de processus pour fournir une capacité de processus pratiquement illimitée. Avec son contrôle précis, ses caractéristiques avancées et son design robuste, PT7160 est un graveur/cendrier idéal pour ceux qui recherchent un contrôle précis sur le profil gravure/cendres.