Occasion POLYFLOW S-314 #9378987 à vendre en France
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POLYFLOW S-314 est un équipement de graveur/asher pour les processus de microfabrication. Il est conçu pour fournir une gravure et un nettoyage précis pour une large gamme de tâches semi-conductrices avancées. Ce système a été conçu spécifiquement pour répondre aux exigences élevées des processus de production modernes, permettant un débit élevé, un contrôle précis et une flexibilité maximale. S-314 est équipé d'une unité à trois chambres pour permettre les processus de gravure, de cendre et de passivation. Cette configuration fournit un processus efficace et fiable pour différentes tailles de substrat et étapes de processus. La machine de distribution combinée de gaz dans ces chambres assure un résultat de processus uniforme, et l'outil est personnalisable pour chaque processus individuel. POLYFLOW S-314 est piloté par une robotique de précision, permettant d'effectuer des opérations automatisées de chargement et de déchargement avec une précision articulaire et un débit élevé. Cette installation supporte une large gamme de substrats et de matériaux, y compris des photorésistants organiques, des résines durcies, des polyimides et des métaux. Les échantillons peuvent être pré-programmés avec des informations spécifiques, telles que les paramètres de pulvérisation, la taille du motif, la durée du processus et la séquence du processus. L'actif est conçu pour la gravure et le nettoyage à haute performance des matériaux à base de silicium et non-silicium. Il est équipé de vannes de commande à gaz qui permettent la distribution de gaz multiples et le choix de paramètres tels que la pression, le débit, la température et la puissance. Les variables de processus peuvent être ajustées à même les plus petites fractions afin d'obtenir un rendement et des performances maximums. En outre, S-314 comprend une interface utilisateur conviviale pour l'opérateur qui permet d'accéder facilement à toutes les fonctions du modèle. En outre, POLYFLOW S-314 dispose d'un équipement d'isolation dynamique pour réduire la contamination induite par les processus ainsi que d'un ensemble intégré de dispositifs de sécurité pour une fiabilité accrue. La pression, le vide, la température et d'autres paramètres du système sont contrôlés en temps réel sur le panneau de commande intuitif pour garantir des performances optimales. L'unité est également conçue pour un faible entretien et le remplacement de pièces si nécessaire en raison de sa conception modulaire. Dans l'ensemble, S-314 est un graveur/asher avancé conçu pour les processus de microfabrication. Sa conception intelligente en fait une machine efficace et fiable pour la gravure et le nettoyage de haute précision de différents matériaux avec un minimum d'entretien.
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